Исследование потерь пропускания в поликристаллическом CVD-алмазе в миллиметровом диапазоне длин волн методом свободного пространства
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 19-07-00683
Гнатюк Д.Л.1, Зуев А.В.1, Крапухин Д.В.1, Мальцев П.П.1,2, Совык Д.Н.3, Ральченко В.Г.3
1Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники имени В.Г. Мокерова РАН, Москва, Россия
2МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
3Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
Email: dgnatyuk@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 2 июня 2021 г.
Принята к печати: 15 июня 2021 г.
Выставление онлайн: 12 июля 2021 г.
Исследованы структура и пропускная способность пластин поликристаллического CVD-алмаза диаметром до 75 mm в диапазоне частот 50-67 GHz методом свободного пространства. Показано, что величина тангенса угла диэлектрических потерь лежит в диапазоне 7.5· 10-3-8· 10-2, возрастая с частотой, а потери пропускания составляют порядка 1%. Ключевые слова: миллиметровый диапазон длин волн, поликристаллический алмаз, радиопрозрачность.
- G. Gantenbein, A. Samartsev, G. Aiello, G. Dammertz, J. Jelonnek, M. Losert, A. Schlaich, T.A. Scherer, D. Strauss, M. Thumm, D. Wagner, IEEE Trans. Electron Dev., 61 (6), 1806 (2014). DOI: 10.1109/IVEC.2013.6571030
- Б.М. Гарин, В.В. Паршин, В.Г. Ральченко, В.И. Конов, А.Н. Копнин, А.Б. Мазур, М.П. Пархоменко, Е.Е. Чигряй, Письма в ЖТФ, 25 (7), 85 (1999)
- B.M. Garin, V.V. Parshin, S.E. Myasnikova, V.G. Ralchenko, Diamond Relat. Mater., 12 (10-11), 1755 (2003). DOI: 10.1016/S0925-9635(03)00199-7
- M.P. Parkhomenko, D.S. Kalenov, N.A. Fedoseev, I.S. Eremin, V.G. Ralchenko, A.P. Bolshakov, E.E. Ashkinazi, A.F. Popovich, V.K. Balla, A.K. Mallik, Phys. Wave Phenom., 23 (3), 202 (2015). DOI: 10.3103/S1541308X15030073
- J.M. Le Floch, R. Bara, J.G. Hartnett, M.E. Tobar, D. Mouneyrac, D. Passerieux, D. Cros, J. Krupka, P. Goy, S. Caroopen, J. Appl. Phys., 109 (9), 094103 (2011). DOI: 10.1063/1.3580903
- R.S. Sussmann, J.R. Brandon, G.A. Scarsbrook, C.G. Sweeney, T.J. Valentine, A.J. Whitehead, C.J.H. Wort, Diamond. Relat. Mater., 3 (3-4), 303 (1994). DOI: 10.1016/0925-9635(94)90176-7
- A. Ibarra, M. Gonzalez, R. Vila, J. Molla, Diamond. Relat. Mater., 6 (5-7), 856 (1997). DOI: 10.1016/S0925-9635(96)00724-8
- Y.Q. Liu, M.H. Ding, J.J. Su, H. Ren, X.R. Lu, W.Z. Tang, Diamond. Relat. Mater., 73, 114 (2017). DOI: 10.1016/j.diamond.2016.08.007
- S.M. Pimenov, V.V. Kononenko, V.G. Ralchenko, V.I. Konov, S. Gloor, W. Luthy, H.P. Weber, A.V. Khomich, Appl. Phys. A, 69 (1), 81 (1999). DOI: 10.1007/s003390050975
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
