Исследование диодов Шоттки на основе массива кремниевых волокон, полученных сухим криогенным травлением
Российский научный фонд, Проведение инициативных исследований молодыми учеными» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 19-79-00338
Баранов А.И.1,2, Кудряшов Д.А.1,2, Уваров А.В.1,2, Морозов И.А.1,2, Шугуров К.Ю.1, Максимова А.А.1,2, Вячеславова Е.А.1,2, Гудовских А.С.1,2
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: baranov_art@spbau.ru, kudryashovda@gmail.com, lumenlight@mail.ru, morivan@mail.ru, shugurov17@mail.ru, deer.blackgreen@yandex.ru, cate.viacheslavova@yandex.ru, gudovskikh@spbau.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 13 июня 2021 г.
Принята к печати: 16 июня 2021 г.
Выставление онлайн: 12 июля 2021 г.
Рассмотрены массивы кремниевых вертикально ориентированных волокон, полученных сухим криогенным травлением кремниевых подложек с концентрацией свободных электронов n=1016 и 1017 cm-3, высотой 6 μm и диаметром 1.7 и 1.2 μm соответственно. Продемонстрировано, что напыление золота позволяет сформировать диод Шоттки с коэффициентом идеальности 1.1-1.3 и высотой барьера 0.6-0.7 eV при данных параметрах этих массивов. Показано, что экспериментальные кривые вольт-фарадных характеристик таких структур могут быть проанализированы с помощью модели, учитывающей вклад в емкость от всей поверхности волокон. Это позволило провести численную оценку профиля концентрации свободных носителей заряда именно в массиве волокон, что показало хорошее численное совпадение с уровнем легирования в исходных подложках. Ключевые слова: кремниевые волокна, солнечный элемент, криогенное травление, вольт-фарадное профилирование.
- K. Yoshikawa, W. Yoshida, T. Irie, H. Kawasaki, K. Konishi, H. Ishibashi, T. Asatani, D. Adachi, M. Kanematsu, H. Uzu, K. Yamamoto, Solar Energy Mater. Solar Cells, 173, 37 (2017). DOI: 10.1016/j.solmat.2017.06.024
- E.A. Vyacheslavova, I.A. Morozov, A.S. Gudovskikh, A.V. Uvarov, A.I. Baranov, D.A. Kudryashov, J. Phys.: Conf. Ser., 1695 (1), 012085 (2020). DOI: 10.1088/1742-6596/1695/1/012085
- K. Sato, A. Castaldini, N. Fukata, A. Cavallini, Nano Lett., 12 (6), 3012 (2012). DOI: 10.1021/nl300802x
- G. Venturi, A. Castaldini, A. Schleusener, V. Sivakov, A. Cavallini, Nanotechnology, 26 (19), 195705 (2015). DOI: 10.1088/0957-4484/26/19/195705
- R. Dussart, T. Tillocher, P. Lefaucheux, M. Boufnichel, J. Phys. D.: Appl. Phys., 47 (12), 123001 (2014). DOI: 10.1088/0022-3727/47/12/123001
- A. Smyrnakis, E. Almpanis, V. Constantoudis, N. Papanikolaou, E. Gogolides, Nanotechnology, 26 (8), 085301 (2015). DOI: 10.1088/0957-4484/26/8/085301
- I.A. Morozov, A.S. Gudovskikh, A.V. Uvarov, A.I. Baranov, V. Sivakov, D.A. Kudryashov, Phys. Status Solidi A, 217 (4), 1900535 (2020). DOI: 10.1002/pssa.201900535
- A.I. Baranov, D.A. Kudryashov, L.N. Dvoretckaia, I.A. Morozov, A.V. Uvarov, E.A. Vyacheslavova, K.Yu. Shugurov, A.S. Gudovskih, J. Phys.: Conf. Ser., 1695 (1), 012089 (2020). DOI: 10.1088/1742-6596/1695/1/012089
- A.I. Baranov, D.A. Kudryashov, I.A. Morozov, A.V. Uvarov, K.Yu. Shugurov, A.S. Gudovskih, J. Phys.: Conf. Ser., 1697 (1), 012060 (2020). DOI: 10.1088/1742-6596/1697/1/012060
- E.C. Garnett, Y. Tseng, D. Khanal, J. Wu, J. Bokor, P. Yang, Nature Nanotechnol., 4 (5), 311 (2009). DOI: 10.1038/nnano.2009.43
- Y. Calahorra, D. Ritter, J. Appl. Phys., 114 (12), 124310 (2013). DOI: 10.1063/1.4823517
- Y. Calahorra, E. Yalon, D. Ritter, J. Appl. Phys., 117 (3), 034308 (2015). DOI: 10.1063/1.4906210
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
