"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Ионный синтез структур кремний на изоляторе" со свинцово-силикатным изолирующим слоем
Бучин Э.Ю.1, Денисенко Ю.И. 1
1Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН, Ярославль, Россия
Email: imi.buchin@rambler.ru
Поступила в редакцию: 19 марта 2021 г.
В окончательной редакции: 13 апреля 2021 г.
Принята к печати: 27 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 18 мая 2021 г.

Исследован процесс ионного синтеза структур "кремний на изоляторе", основанный на последовательной имплантации ионов кислорода и стеклообразователя в кремниевые подложки. В качестве стеклообразователя использованы ионы свинца. Рассмотрены особенности формирования скрытого силикатного слоя при постимплантационном отжиге. Измерены вольт-амперные характеристики синтезированных структур, а также удельные электрические сопротивления изолятора и приборного слоя кремния. Ключевые слова: ионная имплантация, стеклообразователь, высокотемпературный отжиг, силикатный изолятор, вольт-амперная характеристика.
  1. J. Makinen, T. Suni, in Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd ed. (Elsevier, 2015), p. 206--237. DOI: 10.1016/B978-0-323-29965-7.00007-510.1016/B978-0-323-29965-7.00007-5
  2. Y. Hoshino, G. Yachida, K. Inoue, T. Toyohara, J. Nakata, AIP Adv., 6, 065313 (2016). DOI: 10.1063/1.4954200
  3. S.A. Krivelevich, E.Yu. Buchin, Yu.I. Denisenko, R.V. Selyukov, Proc. SPIE, 6260, 626007 (2006). DOI: 10.1117/12.677013
  4. N. Mythili, K.T. Arulmozhi, S. Sheik Fareed, Optik, 127, 10817 (2016). DOI: 10.1016/j.ijleo.2016.08.096
  5. Стекло, под ред. Н.Н. Павлушкина (Стройиздат, М., 1973)
  6. В.С. Постников, Оптическое материаловедение (Изд-во Перм. нац. исслед. политехн. ун-та, Пермь, 2013)
  7. А.Н. Смирнов, ФММ, 106 (1), 79 (2008). [Пер. версия: 10.1134/S0031918X08070107]
  8. И.И. Новиков, Термодинамика спинодалей и фазовых переходов (Наука, М., 2000)
  9. В.И. Арбузов, Основы радиационного оптического материаловедения (ИТМО, СПб., 2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.