С помощью высокотемпературной рентгеновской дифрактометрии непосредственно в пучке изучено термическое окисление монокристалла кремния в интервале температур 293-1293 K. Обнаружена аномалия в интенсивности и угловом положении диффузного рассеяния от поверхности монокристалла. Аномалия объясняется окислением поверхности кремния по модели Дила-Гроува и процессом сублимации окисного слоя в зависимости от температуры. Установлено, что в объеме (кремниевой среде) монокристалла в этом интервале температур имеет место фазовый переход alpha-beta в кристаллической примесной фазе диоксида кремния, аналогичный alpha-beta-переходу кварца в атмосфере. Ключевые слова: монокристалл, фаза, переход, рентген, дифракция, сублимация.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.