Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, FSUS-2020-0039
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, FSUS-2020-0029
Госзадание ОНЦ СО РАН , №075-03-2020-614
Николаев И.В.
1, Коробейщиков Н.Г.
1, Роенко М.А.
1, Гейдт П.В.
1, Струнин В.И.
2,31Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
2Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, Омск, Россия
3Институт радиофизики и физической электроники ОНЦ СО РАН, Омск, Россия
Email: i.nikolaev@nsu.ru, korobei@nsu.ru, p.geydt@nsu.ru, struninvi@omsu.ru
Поступила в редакцию: 1 сентября 2020 г.
В окончательной редакции: 28 сентября 2020 г.
Принята к печати: 11 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 12 января 2021 г.
Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν=0.02-128 μm-1) при ультрамалой глубине травления (<100 nm). Ключевые слова: ионно-кластерный пучок, тонкие пленки, нитрид алюминия, сглаживание поверхности.
- I. Yamada, Materials processing by cluster ion beams. History, theory, and applications (CRC Press, Boca Raton, 2015)
- I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, T. Aoki, T. Seki, Cur. Opin. Solid State Mater. Sci., 19, 12 (2015). DOI: 10.1016/j.cossms.2014.11.002
- A.T. Wu, D.R. Swenson, Z. Insepov, Phys. Rev. Spec. Top., 13, 093504 (2010). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.02.019
- A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, Yu.A. Ermakov, A.S. Trifonov, D.E. Presnov, A.V. Garshev, Yu.V. Anufriev, I.G. Prokhorova, V.A. Krupenin, V.S. Chernysh, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 421, 27 (2018). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.02.019
- Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко, Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646 [Пер. версия: 10.1134/S1063785019030295]
- Y.Q. Fu, J.K. Luo, N.T. Nguyen, A.J. Walton, A.J. Flewitt, X.T. Zu, Y. Li, G. McHale, A. Matthews, E. Iborra, H. Du, W.I. Milne, Prog. Mater. Sci., 89, 31 (2017). DOI: 10.1016/j.pmatsci.2017.04.006
- V.S. Kudyakova, R.A. Shishkin, A.A. Elagin, M.V. Baranov, A.R. Beketov, J. Eur. Ceram. Soc., 37, 1143 (2017). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2016.11.051
- N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 438, 1 (2019). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.10.019
- N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko, V.V. Atuchin, Appl. Phys. A, 124, 833 (2018). DOI: 10.1007/s00339-018-2256-3
- M.P. Seah, J. Phys. Chem. C, 117, 12622 (2013). DOI: 10.1021/jp402684c
- R.J. Paruch, Z. Postawa, B.J. Garrison, J. Vac. Sci. Technol. B, 34, 03H105 (2016). DOI: 10.1116/1.4940153
- B.-H. Hwang, C.-S. Chen, H.-Y. Lu, T.-C. Hsu, Mater. Sci. Eng. A, 325, 380 (2002). DOI: 10.1016/S0921-5093(01)01477-0
- C. Duquenne, M-P. Besland, P.Y. Tessier, E. Gautron, Y. Scudeller, D. Averty, J. Phys. D: Appl. Phys., 45, 015301 (2011). DOI: 10.1088/0022-3727/45/1/015301
- N.I. Chkhalo, A.V. Kirsanov, G.A. Luchinin, O.A. Malshakova, M.S. Mikhailenko, A.I. Pavlikov, A.E. Pestov, M.V. Zorina, Appl. Opt., 57, 6911 (2018). DOI: 10.1364/AO.55.001249
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
