Исследование индуктивно-связанной плазмы пониженного давления CF3Br методами зонда Ленгмюра и оптической эмиссионной спектроскопии
The Ministry of Science and Higher Education of Russian Federation, 0066-2019-0004
Russian Foundation for Basic Research, 18-29-27025
Кузьменко В.О.
1, Мяконьких А.В.
1
1Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
Email: kuzmenko@ftian.ru, miakonkikh@ftian.ru
Поступила в редакцию: 12 октября 2020 г.
В окончательной редакции: 14 октября 2020 г.
Принята к печати: 14 октября 2020 г.
Выставление онлайн: 16 ноября 2020 г.
Проведены измерения параметров индуктивно-связанной плазмы пониженного давления газа CF3Br методами зонда Ленгмюра и актинометрии. Определены электронная температура и концентрации электронов и положительных ионов, а также радикалов фтора и брома. Предложено объяснение наблюдавшейся ранее значительной деградации диэлектриков со сверхнизкой проницаемостью при травлении в исследуемой плазме. Ключевые слова: низкотемпературная неравновесная плазма, оптическая эмиссионная спектроскопия, зонд Ленгмюра, бромсодержащая плазма, индуктивно-связанная плазма.
- S.V. Avtaeva, D.K. Otorbaev, J. Phys. D: Appl. Phys., 26 (12), 2148 (1993). DOI: 10.1088/0022-3727/26/12/009
- D.V. Lopaev, Yu.A. Mankelevich, T.V. Rakhimova, A.I. Zotovich, S.M. Zyryanov, M.R. Baklanov, J. Phys. D: Appl. Phys., 50 (48), 485202 (2017). DOI: 10.1088/1361-6463/aa92a7
- A. Rezvanov, A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov, J. Vac. Sci. Technol. B, 35 (2), 021204 (2017). DOI: 10.1116/1.4975646
- A.V. Miakonkikh, I. Clemente, A.S. Vishnevskiy, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov, Proc. SPIE, 10224, 1022420 (2017). DOI: 10.1117/12.2267113
- К.В. Руденко, А.В. Мяконьких, А.А. Орликовский, Микроэлектроника, 36 (3), 206 (2007)
- F.F. Chen, Plasma Sources Sci. Technol., 18 (3), 035012 (2009). DOI: 10.1088/0963-0252/18/3/035012
- D.V. Lopaev, A.V. Volynets, S.M. Zyryanov, A.I. Zotovich, A.T. Rakhimov, J. Phys. D: Appl. Phys., 50 (7), 075202 (2017). DOI: 10.1088/1361-6463/50/7/075202
- I.I. Sobel'man, L.A. Vainshtein, E.A. Yukov, Excitation of atoms and broadening of spectral lines (Physica-Verlag, Heidelberg, 1995), p. 1-58
- V.V. Kazakov, V.G. Kazakov, V.S. Kovalev, O.I. Meshkov, A.S. Yatsenko, Phys. Scripta, 92 (10), 105002 (2017). DOI: 10.1088/1402-4896/aa822e
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
