"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Формирование селективного контакта BP/Si с помощью низкотемпературного плазмохимического осаждения
Переводная версия: 10.1134/S1063785021010211
Министерство науки и высшего образования РФ , государственное задание, 0791-2020-0004
Гудовских А.С.1,2, Кудряшов Д.А.1, Баранов А.И.1, Уваров А.В.1, Морозов И.А.1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: gudovskikh@spbau.ru
Поступила в редакцию: 23 сентября 2020 г.
В окончательной редакции: 13 октября 2020 г.
Принята к печати: 13 октября 2020 г.
Выставление онлайн: 16 ноября 2020 г.

Впервые показана возможность формирования слоев фосфида бора методом плазмохимического атомно-слоевого осаждения при температуре 250oC, а также экспериментально продемонстрирована возможность их использования в качестве дырочного селективного контакта к кремнию для создания солнечных элементов. Ключевые слова: фосфид бора, кремний, селективный контакт, солнечный элемент.
  1. K. Yoshikawa, H. Kawasaki, W. Yoshida, T. Irie, K. Konishi, K. Nakano, T. Uto, D. Adachi, M. Kanematsu, H. Uzu, K. Yamamoto, Nature Energy, 2, 17032 (2017). DOI: 10.1038/nenergy.2017.32
  2. J. Bullock, M. Hettick, J. Geissbuhler, J. Alison, T. Allen, C. Sutter-Fella, T. Chen, H. Ota, E. Schaler, S. Wolf, C. Ballif, C. Cuevas, A. Javey, Nature Energy, 1, 15031 (2016). DOI: 10.1038/nenergy.2015.31
  3. Y. Kumashiro, Y. Okada, S. Gonda, J. Cryst. Growth, 70, 507 (1984). DOI: 10.1016/0022-0248(84)90309-9
  4. S.W. King, M. French, M. Jaehnig, M. Kuhn, G. Xu, ECS J. Solid State Sci. Technol., 1, 250 (2012). DOI: 10.1149/2.007206jss
  5. H. Wagner, T. Ohrdes, A. Dastgheib-Shirazi, B. Puthen-Veettil, D. Konig, P.P. Altermatt, J. Appl. Phys., 115, 044508 (2014). DOI: 10.1063/1.4863464
  6. I. Sakata, H. Kawanami, Appl. Phys. Express, 1, 091201 (2008). DOI: 10.1143/apex.1.091201
  7. R. Varache, C. Leendertz, M.E. Gueunier-Farret, J. Haschke, D. Munoz, L. Korte, Solar Energy Mater. Solar Cells, 141, 14 (2015). DOI: 10.1016/j.solmat.2015.05.014
  8. X.-L. Wang, A. Wakahara, A. Sasaki, J. Cryst. Growth, 158, 49 (1996). DOI: 10.1016/0022-0248(95)00341-X
  9. T.L. Chu, J.M. Jackson, A.E. Hyslop, S.C. Chu, J. Appl. Phys., 42, 420 (1971). DOI: 10.1063/1.1659614
  10. B. Stone, D. Hill, Phys. Rev. Lett., 4, 282 (1960). DOI: 10.1103/PhysRevLett.4.282
  11. A. Gudovskikh, I. Morozov, A. Uvarov, D. Kudryashov, E. Nikitina, A. Bukatin, V. Nevedomskiy, J.-P. Kleider, J. Vac. Sci. Technol. A, 36, 021302 (2018). DOI: 10.1116/1.4999409
  12. A.S. Gudovskikh, A.V. Uvarov, I.A. Morozov, A.I. Baranov, D.A. Kudryashov, K.S. Zelentsov, A. Jaffre, S. Le Gall, A. Darga, A. Brezard-Oudot, J.-P. Kleider, Phys. Status Solidi A, 216, 1800617 (2019). DOI: 10.1002/pssa.201800617
  13. K. Woo, K. Lee, K. Kovnir, Mater. Res. Express, 3, 074003 (2016). DOI: 10.1088/2053-1591/3/7/074003

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.