Вышедшие номера
Автоэмиссия многоострийных катодных матриц на кремнии p-типа в сильных импульсных электрических полях
Переводная версия: 10.1134/S106378501905016X
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 31 января 2019 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2019 г.

Экспериментально исследованы динамические свойства автоэлектронной эмиссии в сильных импульсных электрических полях микросекундной длительности для многоострийных катодных матриц, изготовленных на основе поверхностно модифицированных кристаллов кремния дырочного типа. Показано, что уменьшение порогов начала автоэмиссии с увеличением длительности импульсов увеличивает прозрачность потенциальных барьеров за счет увеличения энергии электронов. Параметры автоэмиссии определяются дипольными моментами поверхностей и встроенными поверхностными потенциалами, которые формируются при плазменном травлении кремния в различных химически активных средах.
  1. Marcus R.B., Ravi T.S., Gmitter T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 56. N 3. P. 236--238
  2. Velasquez-Garci a L.F., Guerrera S., Niu Y., Akinwande A.I. // IEEE Trans. Electron Dev. 2011. V. 58. N 6. P. 1783--1791
  3. Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н. Кремний --- материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 352 с
  4. Успехи наноинженерии: электроника, материалы, структуры / Под ред. Дж. Дэвиса, М. Томсона. М.: Техносфера, 2011. 496 с
  5. Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит, 2009. 216 с
  6. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. // ФТП. 2017. Т. 51. В. 4. С. 558--562
  7. Яфаров Р.К. // ФТП. 2019. Т. 53. В. 1. С. 18--25
  8. Fowler R.H., Nordheim L. // Proc. Roy. Soc. London. A. 1928. V. 119. N 781. P. 173--181
  9. Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 13. С. 68--74
  10. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. 490 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.