"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Контракция микроволнового разряда в реакторе для газофазного осаждения алмаза
Переводная версия: 10.1134/S1063785019020032
Богданов С.А.1, Горбачев А.М.1, Радищев Д.Б.1, Вихарев А.Л.1, Лобаев М.А.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: gorb@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Обнаружено, что в смеси водород-метан в микроволновом плазменном реакторе для осаждения алмаза существует пороговое давление, начиная с которого происходит контракция микроволнового разряда. Приведены результаты измерений температуры газа и пространственных распределений интенсивности оптического излучения разряда. Обсуждается механизм контракции разряда.
  1. Balmer R.S., Brandon J.R., Clewes S.L., Dhillon H.K., Dodson J.M., Friel I., Inglis P.N., Madgwick T.D., Markham M.L., Mollart T.P. // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. V. 21. N 36. P. 364221. DOI: 10.1088/0953-8984/21/36/364221
  2. Power electronics device applications of diamond semiconductors / Eds S. Koizumi, H. Umezawa, J. Pernot, M. Suzuki. Woodhead Publ., 2018. 466 p
  3. Gu Y., Lu J., Grotjohn T., Schuelke T., Asmussen J. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 210--214. DOI: 10.1016/j.diamond.2012.01.026
  4. Muchnikov A.B., Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Radishev D.B., Blank V.D., Terentiev S.A. // Diamond Relat. Mater. 2010. V. 19. N 5-6. P. 432--436. DOI: 10.1016/j.diamond.2009.11.012
  5. Lobaev M.A., Bogdanov S.A., Radishev D.B., Vikharev A.L., Gorbachev A.M. // Diamond Relat. Mater. 2016. V. 66. P. 177--182. DOI: 10.1016/j.diamond.2016.05.004
  6. Derkaoui N., Rond C., Hassouni K., Gicquel A. // J. Appl. Phys. 2014. V. 115. N 23. P. 233301. DOI: 10.1063/1.4883955
  7. Goodwin D.G. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 11. P. 6888--6894. DOI: 10.1063/1.355063
  8. Gaydon A.G., Wolfhard H.G. // Proc. R. Soc. Lond. A. 1950. V. 201. P. 561--569
  9. Duten X., Rousseau A., Gicquel A., Leprince P. // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. N 9. P. 5299--5301. DOI: 10.1063/1.371515
  10. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с. [ Raizer Y.P. Gas discharge physics. Berlin-Heidelberg: Springer-Verlag, 1991. 449 p.]
  11. FridmanAA., Kennedy L.A. Plasma physics and engineering. Taylor \& Francis Routledge, 2004. 853 p
  12. Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Radishev D.B. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. N 1. P. 014001. DOI: 10.1088/1361-6463/aae3a3
  13. Ma J., Ashfold M.N.R., Mankelevich Y.A. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. N 4. P. 043302. DOI: 10.1063/1.3078032
  14. Лебедев Ю.А., Эпштейн И.Л. // Теплофизика высоких температур. 1998. Т. 36. N 4. С. 534--540.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.