"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Контракция микроволнового разряда в реакторе для газофазного осаждения алмаза
Переводная версия: 10.1134/S1063785019020032
Богданов С.А.1, Горбачев А.М.1, Радищев Д.Б.1, Вихарев А.Л.1, Лобаев М.А.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: gorb@appl.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 12 ноября 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Обнаружено, что в смеси водород-метан в микроволновом плазменном реакторе для осаждения алмаза существует пороговое давление, начиная с которого происходит контракция микроволнового разряда. Приведены результаты измерений температуры газа и пространственных распределений интенсивности оптического излучения разряда. Обсуждается механизм контракции разряда.
  • Balmer R.S., Brandon J.R., Clewes S.L., Dhillon H.K., Dodson J.M., Friel I., Inglis P.N., Madgwick T.D., Markham M.L., Mollart T.P. // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. V. 21. N 36. P. 364221. DOI: 10.1088/0953-8984/21/36/364221
  • Power electronics device applications of diamond semiconductors / Eds S. Koizumi, H. Umezawa, J. Pernot, M. Suzuki. Woodhead Publ., 2018. 466 p
  • Gu Y., Lu J., Grotjohn T., Schuelke T., Asmussen J. // Diamond Relat. Mater. 2012. V. 24. P. 210--214. DOI: 10.1016/j.diamond.2012.01.026
  • Muchnikov A.B., Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Radishev D.B., Blank V.D., Terentiev S.A. // Diamond Relat. Mater. 2010. V. 19. N 5-6. P. 432--436. DOI: 10.1016/j.diamond.2009.11.012
  • Lobaev M.A., Bogdanov S.A., Radishev D.B., Vikharev A.L., Gorbachev A.M. // Diamond Relat. Mater. 2016. V. 66. P. 177--182. DOI: 10.1016/j.diamond.2016.05.004
  • Derkaoui N., Rond C., Hassouni K., Gicquel A. // J. Appl. Phys. 2014. V. 115. N 23. P. 233301. DOI: 10.1063/1.4883955
  • Goodwin D.G. // J. Appl. Phys. 1993. V. 74. N 11. P. 6888--6894. DOI: 10.1063/1.355063
  • Gaydon A.G., Wolfhard H.G. // Proc. R. Soc. Lond. A. 1950. V. 201. P. 561--569
  • Duten X., Rousseau A., Gicquel A., Leprince P. // J. Appl. Phys. 1999. V. 86. N 9. P. 5299--5301. DOI: 10.1063/1.371515
  • Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с. [ Raizer Y.P. Gas discharge physics. Berlin-Heidelberg: Springer-Verlag, 1991. 449 p.]
  • FridmanAA., Kennedy L.A. Plasma physics and engineering. Taylor \& Francis Routledge, 2004. 853 p
  • Vikharev A.L., Gorbachev A.M., Radishev D.B. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. N 1. P. 014001. DOI: 10.1088/1361-6463/aae3a3
  • Ma J., Ashfold M.N.R., Mankelevich Y.A. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. N 4. P. 043302. DOI: 10.1063/1.3078032
  • Лебедев Ю.А., Эпштейн И.Л. // Теплофизика высоких температур. 1998. Т. 36. N 4. С. 534--540.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.