Аморфные пленки тройных оксидов цинка и олова для прозрачной электроники
Рембеза С.И.1, Белоусов С.А.1, Кошелева Н.Н.1, Рембеза Е.С.1, Свистова Т.В.1, Suvaci Е.2, Ozel E.2, A ciksari C.2, Tuncolu G.2
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Anadolu Universiity, Eski sehir, Turkey
Email: rembeza@yandex.ru
Поступила в редакцию: 13 сентября 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2018 г.
Рассмотрены аморфные пленки двух разновидностей станната цинка (ZnSnO3 и Zn2SnO4), изготовленные с помощью радиочастотного распыления керамических составных мишеней, содержащих ZnO и SnO2 в соотношениях 1 : 1 и 2 : 1. Определены элементный и фазовый состав пленок, их оптические и электрические параметры. Прозрачность аморфных пленок в видимом диапазоне составляет в среднем 87%. Аморфные пленки станната цинка обладают высокой электропроводностью в отличие от аморфных ZnO и SnO2. Приведено объяснение этого явления, позволяющего использовать аморфные пленки станната цинка в прозрачной и гибкой электронике.
- Wager J.F. // Science. 2003. V. 300. P. 1245--1246
- Riedl T., Gorn P., Kowalsky W. // J. Display Technol. 2009. V. 9. N 12. P. 501--508
- Рембеза C.И., Кошелева Н.Н., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Плотникова Е.Ю., Белоусов С.А., Носов А.А., Агапов Б.Л. // Нано- и микросистемная техника. 2016. Т. 18. N 11. С. 699--707
- Coutts T.D., Yong D.L., Li X., Mulligan W.P., Wu X. // Sci. Technol. 2000. V. 18. N 6. P. 2646--2660
- Baruah B., Dutta J. // Sci. Techn. Adv. Mater. 2011. V. 12. P. 013004. (1--18)
- Рембеза С.И., Кошелева Н.Н., Рембеза Е.С., Свистова Т.В., Плотникова Е.Ю., Suvaci Е., Ozel E., Tuncolu G., Aciksary C. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 8. С. 1147--1151
- Chiang H.Q., Wager J.F., Hoffman K.L., Jeong J., Keszler D.A. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 86. P. 013503
- Рембеза С.И., Синельников Б.М., Рембеза Е.С., Каргин Н.И. Физические методы исследования материалов твердотельной электроники. Ставрополь: СевКавГТУ, 2010. 432 с
- Рембеза С.И., Рембеза Е.С., Свистова Т.В., Кошелева Н.Н. Синтез и свойства металлооксидных пленок. Воронеж.: ВГТУ, 2017. 176 с
- Hosono H. // J. Non-Cryst. Solids. 2006. V. 352. N 1. P. 851--858
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.