УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка
Грант Главы Республики Дагестан в 2106 г., Наука, техника и инновации
Абдуев А.Х.
1, Асваров А.Ш.
1, Ахмедов А.К.
1, Эмиров Р.М.
2, Беляев В.В.
31Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН, Махачкала, Россия
2Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
3Московский государственный областной университет
Email: cht-if-ran@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 мая 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Выполнены сравнительные исследования микроструктуры, оптических и электрических характеристик слоев ZnO, легированного галлием, синтезированных методом магнетронного распыления при ассистировании процесса роста ультрафиолетовым излучением и без ассистирования. Обнаружено, что УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе ZnO способствует улучшению их электрических характеристик за счет создания дополнительных донорных центров и снижения рассеяния носителей заряда на межзеренных границах, существенно не влияя при этом на морфологию слоев и средний коэффициент оптического пропускания в видимой области спектра. DOI: 10.21883/PJTF.2017.22.45259.16874
- Stadler A. // Materials 2012. V. 5. P. 661
- Abduev A., Akmedov A., Asvarov A. et al. // Plasma Process. Polym. 2015. V. 12. P. 725
- Horwat D., Mickan M., Chamorro W. // Phys. Status Solidi C. 2016. V. 13. P. 951
- Tien Ch.-L., Yu K.-Ch., Tsai T.-Y. et al. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 354. P. 79
- Tominaga K., Umezu N., Mori I. et al. // Thin Solid Films. 1998. V. 316. P. 85
- Abduev A., Akhmedov A., Asvarov A. // J. Phys.: Conf. Ser. 2011. V. 291. P. 012039
- Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 14. С. 71
- Morrison S.R. The chemical physics of surfaces. N. Y.-London: 1977. 415 p. [ Моррисон C. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980, 488 с.]
- Tseng Y.-K., Pai F.-M., Chen Y.-Ch. et al. // Electron. Mater. Lett. 2013. V. 9. P. 771
- Достанко А.П., Агеев О.А., Голосов Д.А. и др. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 9. С. 1274
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.