"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка
Грант Главы Республики Дагестан в 2106 г., Наука, техника и инновации
Абдуев А.Х. 1, Асваров А.Ш. 1, Ахмедов А.К. 1, Эмиров Р.М. 2, Беляев В.В. 3
1Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН, Махачкала, Россия
2Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
3Московский государственный областной университет
Email: cht-if-ran@mail.ru
Поступила в редакцию: 17 мая 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.

Выполнены сравнительные исследования микроструктуры, оптических и электрических характеристик слоев ZnO, легированного галлием, синтезированных методом магнетронного распыления при ассистировании процесса роста ультрафиолетовым излучением и без ассистирования. Обнаружено, что УФ-ассистирование процесса роста прозрачных проводящих слоев на основе ZnO способствует улучшению их электрических характеристик за счет создания дополнительных донорных центров и снижения рассеяния носителей заряда на межзеренных границах, существенно не влияя при этом на морфологию слоев и средний коэффициент оптического пропускания в видимой области спектра. DOI: 10.21883/PJTF.2017.22.45259.16874
  • Stadler A. // Materials 2012. V. 5. P. 661
  • Abduev A., Akmedov A., Asvarov A. et al. // Plasma Process. Polym. 2015. V. 12. P. 725
  • Horwat D., Mickan M., Chamorro W. // Phys. Status Solidi C. 2016. V. 13. P. 951
  • Tien Ch.-L., Yu K.-Ch., Tsai T.-Y. et al. // Appl. Surf. Sci. 2015. V. 354. P. 79
  • Tominaga K., Umezu N., Mori I. et al. // Thin Solid Films. 1998. V. 316. P. 85
  • Abduev A., Akhmedov A., Asvarov A. // J. Phys.: Conf. Ser. 2011. V. 291. P. 012039
  • Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 14. С. 71
  • Morrison S.R. The chemical physics of surfaces. N. Y.-London: 1977. 415 p. [ Моррисон C. Химическая физика поверхности твердого тела. М.: Мир, 1980, 488 с.]
  • Tseng Y.-K., Pai F.-M., Chen Y.-Ch. et al. // Electron. Mater. Lett. 2013. V. 9. P. 771
  • Достанко А.П., Агеев О.А., Голосов Д.А. и др. // ФТП. 2014. Т. 48. В. 9. С. 1274
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.