"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез тонких пленок a-SiOx:H методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
Баранов Е.А.1, Замчий А.О.1,2, Хмель С.Я.1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
Email: itpbaranov@gmail.com
Поступила в редакцию: 21 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.

Впервые синтезированы тонкие пленки a-SiOx:H методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой. Скорость роста уменьшалась с 2 до 1.15 nm/s при увеличении температуры подложки от комнатной до 415oC, при этом концентрация водорода уменьшилась с 12.5 до 4.2%, а концентрация кислорода увеличилась с 14.5 до 20.8%. Уменьшение концентрации водорода связано с увеличением эффузии и температурной десорбции. Спектры комбинационного рассеяния света полученных пленок показали типичную аморфную структуру для связей Si-Si.
  • Seif J., Descoeudres A., Filipic M., Smole F., Topic M., Holman Z., Wolf S., Ballif C. // J. Appl. Phys. 2014. V. 115. P. 024502-1--024502-8
  • Fang J., Chen Z., Hou G., Wang F., Chen X., Wei C., Wang G., Sun J., Zhang D., Zhao Y., Zhang X. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2015. V. 136. P. 172--176
  • Wang S., Smirnov V., Chen T., Hollander B., Zhang X., Xiong S., Zhao Y., Finger F. // Jpn. J. Appl. Phys. 2015. V. 54. P 011401--1011401-6
  • Kang D.-W., Sichanugrist P., Konagai M. // Appl. Phys. Express. 2014. V. 5. P. 082302-1--082302-4
  • Sritharathikhun J., Inthisang S., Krajangsang T., Limmanee A., Sriprapha K. // Thin Solid Films. 2013. V. 546. P. 383--386
  • Matsumoto Y., Godavarthi S., Ortega M., Sanchez V., Velumani S., Mallick P. // Thin Solid Films. 2011. V. 519. P. 4498--4501
  • Lopez J.A., Lopez J.C., Valerdi D.E., Salgado G.G., Diaz-Becerril T., Pedraza A.P., Gracia F.J. // Nanoscale Res. Lett. 2012. V. 7. P. 604
  • Sharafutdinov R.G., Khmel S.Ya., Shchukin V.G., Ponomarev M.V., Baranov E.A., Volkov A.V., Semenova O.I., Fedina L.I., Dobrovolsky P.P., Kolesov B.A. // Sol. Energy Mater. \& Sol. Cells. 2005. V. 89. P. 99--111
  • Baranov E., Khmel S., Zamchiy A., Cheskovskaya I., Sharafutdinov M. // Can. J. Phys. 2014. V. 92. P. 723--727
  • Baranov E., Zamchiy A., Khmel S. // Techn. Phys. Lett. 2013. V. 39. P. 88--94
  • Zamchiy A., Baranov E., Khmel S. // Phys. Status Solidi C. 2014. V. 11. P. 1397--1400
  • Baranov E., Khmel S., Zamchiy A. // IEEE Transactions on Plasma Science. 2014. V. 42. P. 2794--2795
  • Brodsky M.H., Cardona M., Cuomo J.J. // Phys. Rev. B. 1977. V. 16. P. 3556--3571
  • Langford A.A., Fleet M.L., Nelson B.P., Lanford W.A., Maley N. // Phys. Rev. B. 1992. V. 45. P. 13367--13377
  • Zacharias M., Driisedau T., Panckow A., Freistedt H., Gark B. // J. Non-Cryst. Solids. 1994. V. 169. P. 29--36
  • He L., Inokuma T., Kurata Y., Hasegawa S. // J. Non-Cryst. Solids. 1955. V. 185. P. 249--261
  • Das D., Barua A. // Solar Energy Materials and Solar Cells. 2000. V. 60. P. 167--179.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.