Лазерная абляция монокристаллического кремния под действием импульсно-частотного излучения волоконного лазера
Вейко В.П., Скворцов А.М., Ту Хуинь Конг, Петров А.А.
Поступила в редакцию: 14 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.
Исследованы процессы разрушения поверхности монокристаллических пластин кремния при облучении сканирующим пучком импульсного иттербиевого волоконного лазера с длиной волны lambda=1062 nm. Показано, что процесс абляции может происходить без плавления кремния с образованием факела плазмы. При определенных параметрах воздействия: мощности излучения, скорости сканирования, степени перекрытия - впервые наблюдалось выраженное окисление образующихся микрочастиц кремния с формированием из них характерного рыхлого слоя из мельчайшего порошка диоксида кремния. Установлен диапазон режимов излучения и сканирования пучка лазера, при которых наблюдается рост слоя SiO2.
- Zavestovskaya I.N., Eliseev P.G., Krokhin O.N. // Appl. Surf. Sci. 2005. V. 248. P. 313--315
- Zavestovskaya I.N., Eliseev P.G., Krokhin O.N., Men'kova N.A. // Appl. Phys. A. 2008. V. 92. P. 903--906
- Veiko V.P., Skvortsov А.М., Sokolov V.I., Pham Q.T., Khalecki R.A., Efimov E.I. // Fundamentals of Laser-Assistant Micro- and Nanotechnologies 2010 / Eds by Vadim P. Veiko, Tigran A. Vartanyan. Proseeding of SPIE. V. 7996 (SPIE, Bellingham, Waschington, 2011). P. 7996--8027
- Банишев А.Ф., Павлов А.М // Физика и xимия обработки материалов. 2008. N 6. C. 11--17
- Скворцов А.М., Вейко В.П., Хуинь Конг Ту. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2012. N 5 (81). С. 128--133
- Скворцов А.М., Хуинь Конг Ту, Халецкий Р.А. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2013. В. 3 (85). С. 137--143
- Plusnina I.I. Infrared spectra of silicate. Moscow: MSU, 1967. 139 p
- Budhani R.C. et al. // J. Vacuum Science \& Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 1987. V. 5. Iss. 4. P. 1644--1648
- Екобори Т. Научные основы прочности и разрушения материалов. Киев: Наук. думка, 1978
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
