Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN
1Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина
2Сумский государственный университет, Сумы, Украина
3Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
4Институт сверхтвердых материалов НАН Украины им. В. Бакуля, Киев-74, Украина
5Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
2Сумский государственный университет, Сумы, Украина
3Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
4Институт сверхтвердых материалов НАН Украины им. В. Бакуля, Киев-74, Украина
5Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
Email: alexp@i.ua
Поступила в редакцию: 20 января 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.
Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29-33.5 и 46-48 GPa соответственно.
- Barnett S.A., Madan A., Kom I., Martin K. // MRS BULLETIN. 2003. P. 169--172
- Gotoh Y., Nagao M., Ura T., Tsuji H., Ishikawa J. // Nucl. Instr. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 148. N 1--4. P. 925--929
- Franz R., Lechthaler M., Polzer C., Mitterer C. // Surf. Coat. Technol. 2010 V. 204. P. 2447--2453
- Makino Y., Saito K., Murakami Y., Asami K. // Solid State Phenomena. 2007. V. 127. P. 195--200
- Barshilla H.C., Deepthi B., Rajam K.S. // J. Mater. Res. 2008. V. 23. P. 1258--1268
- Selinder T.I., Miller D.J., Gray K.E. // Vacuum. 1995. V. 46. N 12. P. 1401--1406
- Holec D., Franz R., Mayrhofer P.H., Mitterer C. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. V. 41. P. 145 403 (8 p)
- X-ray powder diffraction file [038-1155]
- Уманский Я.С., Скаков Ю.А. Физика металлов. Атомное строение металлов и сплавов. М.: Атомиздат, 1978. 352 с
- Jadannadham K., Sharma A.K., Wei Q., Kalyanraman R., Narayan J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16. P. 2804--2815
- Pogrebnjak A.D., Abadias G., Bondar O.V., Sobol O.V., Beresnev V.M., Pshyk A.V., Demianenko A.A., Belovol K.O., Kolesnikov D.A., Komsta H. // Acta Physica Polonica. A. 2014. V. 125. P. 1284--1287
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
