Вышедшие номера
Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN
Иващенко В.И.1, Погребняк А.Д.2, Соболь О.В.3, Рогоз В.Н.2, Мейлехов А.А.3, Дуб С.Н.4, Купчишин А.И.5
1Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина
2Сумский государственный университет, Сумы, Украина
3Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
4Институт сверхтвердых материалов НАН Украины им. В. Бакуля, Киев-74, Украина
5Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
Email: alexp@i.ua
Поступила в редакцию: 20 января 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.

Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29-33.5 и 46-48 GPa соответственно.