"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN
Иващенко В.И.1, Погребняк А.Д.2, Соболь О.В.3, Рогоз В.Н.2, Мейлехов А.А.3, Дуб С.Н.4, Купчишин А.И.5
1Институт проблем материаловедения НАН Украины, Киев-142, Украина
2Сумский государственный университет, Сумы, Украина
3Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
4Институт сверхтвердых материалов НАН Украины им. В. Бакуля, Киев-74, Украина
5Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
Email: alexp@i.ua
Поступила в редакцию: 20 января 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.

Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29-33.5 и 46-48 GPa соответственно.
  1. Barnett S.A., Madan A., Kom I., Martin K. // MRS BULLETIN. 2003. P. 169--172
  2. Gotoh Y., Nagao M., Ura T., Tsuji H., Ishikawa J. // Nucl. Instr. Methods Phys. Res. B. 1999. V. 148. N 1--4. P. 925--929
  3. Franz R., Lechthaler M., Polzer C., Mitterer C. // Surf. Coat. Technol. 2010 V. 204. P. 2447--2453
  4. Makino Y., Saito K., Murakami Y., Asami K. // Solid State Phenomena. 2007. V. 127. P. 195--200
  5. Barshilla H.C., Deepthi B., Rajam K.S. // J. Mater. Res. 2008. V. 23. P. 1258--1268
  6. Selinder T.I., Miller D.J., Gray K.E. // Vacuum. 1995. V. 46. N 12. P. 1401--1406
  7. Holec D., Franz R., Mayrhofer P.H., Mitterer C. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2010. V. 41. P. 145 403 (8 p)
  8. X-ray powder diffraction file [038-1155]
  9. Уманский Я.С., Скаков Ю.А. Физика металлов. Атомное строение металлов и сплавов. М.: Атомиздат, 1978. 352 с
  10. Jadannadham K., Sharma A.K., Wei Q., Kalyanraman R., Narayan J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. V. 16. P. 2804--2815
  11. Pogrebnjak A.D., Abadias G., Bondar O.V., Sobol O.V., Beresnev V.M., Pshyk A.V., Demianenko A.A., Belovol K.O., Kolesnikov D.A., Komsta H. // Acta Physica Polonica. A. 2014. V. 125. P. 1284--1287

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.