Синтез эпитаксиальных пленок теллура методом термохимической активации
Исмаилов А.М.1, Шапиев И.М.1, Рабаданов М.Х.1, Алиев И.Ш.1
1Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
Email: egdada@mail.ru
Поступила в редакцию: 26 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2014 г.
Приведена технология термохимактивационного процесса в системе (Те + Н2), при котором в результате диссоциации молекул теллура в газовой фазе были получены совершенные по структуре эпитаксиальные пленки теллура. Пленки осаждались на свежих сколах слюды со скоростью 6 mum/h. Плоскость (100)Те параллельна плоскости подложки.
- Grosse P. Die Festk rpereigenschaften von Tellur. Springer Tracts in Modern Physics. 1969. P. 48
- Чижиков Д.М., Счастливый В.П. Теллур и теллуриды. М.: Наука, 1966. С. 280
- Gupta N., Voloshinov V.B., Knyazev G.A. et al. // J. Optics. A. Pure and Applied Optics. 2011. V. 14. P. 035 502--035 511
- Oliveira J., Adler E. // IEEE Trans Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control. 1987. V. UFFC-34. N 1. P. 86--94
- Souilhac D., Billerey D. // Proc. SPIE. 1990. V. 1273. P. 162--173
- Tsiulyanua D., Tsiulyanua A., Liessb H.-D. et al. // Thin Solid Films. 2005. V. 485. P. 252--256
- Tsiulyanu D., Marian S., Liess H.-D. // Sensors and Actuators. B. 2002. V. 85. P. 232--238
- Sen S., Bhandarkar V., Muthe K.P. et al. // Sensors and Actuators. B. 2006. V. 115. P. 270--275
- Bhandarkar V., Sen Sh., Muthea K.P. et al. // Materials Science and Engineering. B. 2006. V. 131. P. 156--161
- Valeri S., Paradisi P., Luches P. et al. // Thin Solid Films. 1999. V. 352. P. 114--118
- Capers M.J., White M. // Thin Solid Films. 1971. V. 8. P. 353--357
- Несмеянов А.Н. Давление пара химических элементов. М.: Наука, 1961. C. 396
- Рабаданов Р.А., Исмаилов А.М., Шапиев И.М. / Патент RU N 2440640 C1 (Заявка N 2010145899/28, приоритет от 10.11.2010)
- Pine A.S., Dresselhaus G. // Physical Review. B. 1971. V. 4. N 2. P. 356--371
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.