Вышедшие номера
Анализ дефектов упаковки в нитриде галлия с использованием преобразования Фурье высокоразрешающих изображений
Кириленко Д.А.1, Ситникова А.А.1, Кремлёва А.В.1,2, Мынбаева М.Г.1,3,4, Николаев В.И.1,3,4
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3ООО "Совершенные кристаллы", Санкт-Петербург, Россия
4Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
Email: Demid.Kirilenko@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 7 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Приведены результаты исследования дефектов упаковки в нитриде галлия по изображениям просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения с помощью преобразования Фурье. Показано, что данный метод позволяет не только определять тип дефекта упаковки, но и измерять непосредственно вектор смещения. Это позволило объяснить особенности контраста на электронно-микроскопических изображениях структур с высокой плотностью дефектов упаковки (более 106 cm-1). Обнаружено, что компонента вектора смещения в плоскости (0001) в таких структурах может заметно отличаться от ожидаемой величины (1)/(3)[0110], свойственной одиночным дефектам.