Вышедшие номера
Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии
Гращенко А.С.1, Кукушкин С.А.1,2, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 24 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Предложена модель, описывающая микротвердость системы наномасштабная пленка-подложка в зависимости от глубины погружения индентора. С ее помощью исследованы деформационные характеристики нанометровой пленки карбида кремния, выращенной на кремнии методом замещения атомов. Определены микротвердость карбида кремния и слоя модифицированного кремния. Методом наноиндентирования измерена толщина пленки карбида кремния. Показано хорошее соответствие между данными наноиндентирования и эллипсометрии.