Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии
Гращенко А.С.1, Кукушкин С.А.1,2, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 24 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.
Предложена модель, описывающая микротвердость системы наномасштабная пленка-подложка в зависимости от глубины погружения индентора. С ее помощью исследованы деформационные характеристики нанометровой пленки карбида кремния, выращенной на кремнии методом замещения атомов. Определены микротвердость карбида кремния и слоя модифицированного кремния. Методом наноиндентирования измерена толщина пленки карбида кремния. Показано хорошее соответствие между данными наноиндентирования и эллипсометрии.
- Fischer-Cripps A.C. Naation. Heidelberg: Springer, 2011. 277 p
- Mann A.B. // Nanotribology and Nanomechanics (B. Bhushan, ed.). Berlin: Springer-Verlag, 2011. P. 391--437
- Шугуров А.Р., Панин А.В., Оскомов К.В. // ФТТ. 2008. Т. 50. В. 6. С. 1007--1012
- Kukushkin S.A., Osipov A.V. // J. Appl. Phys. 2013. V.113. P. 0249091--7
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2014. Т. 56. В 4. С. 761--768
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2014. Т. 56. В. 8. С. 1457--1485
- Bhattacharya A.K., Nix W.D. // Int. J. Solids Struct. 1988. V. 24. N 12. P 1287--1298
- Quay R. Gallium Nitride Electronics. Berlin: Springer-Verlag, 2008. 592 p
- Iost A., Guillemot G., Rudermann Y., Bigerelle M. // Thin Solid Films. 2012. V. 524. P. 229--237
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 12. С. 1575--1579
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
