"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Наноиндентирование и деформационные свойства наномасштабных пленок карбида кремния на кремнии
Гращенко А.С.1, Кукушкин С.А.1,2, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Email: sergey.a.kukushkin@gmail.com
Поступила в редакцию: 24 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Предложена модель, описывающая микротвердость системы наномасштабная пленка-подложка в зависимости от глубины погружения индентора. С ее помощью исследованы деформационные характеристики нанометровой пленки карбида кремния, выращенной на кремнии методом замещения атомов. Определены микротвердость карбида кремния и слоя модифицированного кремния. Методом наноиндентирования измерена толщина пленки карбида кремния. Показано хорошее соответствие между данными наноиндентирования и эллипсометрии.
  1. Fischer-Cripps A.C. Naation. Heidelberg: Springer, 2011. 277 p
  2. Mann A.B. // Nanotribology and Nanomechanics (B. Bhushan, ed.). Berlin: Springer-Verlag, 2011. P. 391--437
  3. Шугуров А.Р., Панин А.В., Оскомов К.В. // ФТТ. 2008. Т. 50. В. 6. С. 1007--1012
  4. Kukushkin S.A., Osipov A.V. // J. Appl. Phys. 2013. V.113. P. 0249091--7
  5. Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2014. Т. 56. В 4. С. 761--768
  6. Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2014. Т. 56. В. 8. С. 1457--1485
  7. Bhattacharya A.K., Nix W.D. // Int. J. Solids Struct. 1988. V. 24. N 12. P 1287--1298
  8. Quay R. Gallium Nitride Electronics. Berlin: Springer-Verlag, 2008. 592 p
  9. Iost A., Guillemot G., Rudermann Y., Bigerelle M. // Thin Solid Films. 2012. V. 524. P. 229--237
  10. Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТП. 2013. Т. 47. В. 12. С. 1575--1579

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.