Влияние микротопографии и режима осаждения на автоэмиссионные свойства графитоподобных углеродных пленок
Карасев С.А.1, Симонов С.В.1, Суздальцев С.Ю.1, Яфаров Р.К.1
1Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2002 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2002 г.
Установлены электротехнологические факторы, обеспечивающие управление процессами формирования микротопографии поверхности графитоподобных углеродных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда паров этанола. Показано влияние режимов осаждения и величины шероховатости на электропроводность и эмиссионную способность таких пленок. Получены токи эмиссии с графитоподобных пленок с плотностью 0.3 A/cm2 при напряженности электрического поля в зазоре 7 V/mum.
- Бобков А.Ф., Давыдов Е.В., Зайцев С.В. и др. // ЖТФ. 2001. Т. 71. В. 6. С. 95--103
- Образцов А.Н., Павловский Ю.И., Волков А.П. // ЖТФ. 2001. Т. 71. В. 11. С. 89--95
- Saito Y., Hamaguchi K., Nata K. et al. // Nature. 1997. V. 389. P. 555
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
- Уббелоде А.Р., Льюис Ф.А. Графит и его кристаллические соединения. М.: Мир, 1965. С. 185
- Елинсон М.И., Васильев Г.Ф. Ненакаливаемые катоды. М.: Наука, 1974. С. 278
- Суздальцев С.Ю., Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 15. C. 77--83
- Вакар З., Денисов Е.А., Компаниец Т.Н. и др. // ЖТФ. 2001. Т. 71. В. 6. С. 133--138.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук