Вышедшие номера
Исследование кинетики преципитации кислорода в кремнии, легированном цирконием
Светухин В.В.1,2, Гришин А.Г.1,2, Ильина Т.С.1,2, Прокофьева В.К.1,2, Рыгалин Б.Н.1,2
1Ульяновский государственный университет
2Московский институт электронной техники (Технический университет)
Email: slava@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 11 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.

Исследуется кинетика преципитации кислорода при 900 и 1050oC в образцах кремния, выращенных по методу Чохральского с различным содержанием циркония. Показано, что цирконий не участвует в процессе образования центров зарождения кислородных преципитатов, но уменьшает концентрацию междоузельного кислорода при выращивании кристалла.