"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Распределения кластеров по зарядам и размерам при ионном распылении металла
Матвеев В.И.1
1Поморский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Архангельск
Email: matveev.victor@pomorsu.ru
Поступила в редакцию: 6 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2001 г.

Предложено описание процессов упругого распыления металла в виде больших (с числом атомов N<= 5) нейтральных и заряженных кластеров при ионной бомбардировке. Результат представлен в виде простой формулы.
  • Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел. Сб. статей / Пер. с англ. Сост. Е.С. Машкова. М.: Мир, 1989. 399 с
  • Andersen Н.Н., Дан К. // Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. V. 43. P. 127
  • Urbassek Н.М., Hofer W.O., Dan K. // Vidensk. Selsk. Mat. Fys. Medd. 1993. V. 43. P. 97
  • Баранов И.А., Мартыненко Ю.В., Цепелевич С.О., Явлинский Ю.Н. // УФН. 1988. Т. 156. С. 478
  • Распыление под действием бомбардировки частицами /Под ред. Р. Бериша и К. Виттмака. В. 3. М.: Мир, 1998. 551 с
  • Wucher A., Wahl W. // Nucl. Instrum. Meth. 1996. V. B115. P. 581
  • Coon S.R., Calaway W.F., Pellin M.Y. // Nucl. Instrum. Meth. 1994. V. B90. P. 518
  • Wucher A., Garrison B.Y. // J. Chem Phys. 1996. V. 105. P. 5999
  • Brunelle A., Della-Negra S., Deprun C., Depauw J., Hakansson P., Jacquet D., Le Beyec Y. // Int. of Mass. Spectr. and Ion. Proc. 1997. V. 164. P. 193
  • Colla Th.J., Urbassek H.M., Wucher A., Staudt C., Heinrich R., Garrison B.J., Dandachi C., Betz G. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. V. B 143. P. 284
  • Yu M.L. Topics of Applied Phys. Sputtering by Particle Bombardment III / Ed. by R. Behrisch and K. Wittmaack. Springer-Verlag, 1991. P. 91
  • Матвеев В.И, Хабибуллаев П.К. // ДАН. 1998. Т. 362. N 2. С. 191
  • Матвеев В.И., Белых С.Ф., Веревкин И.В. // ЖТФ. 1999. Т. 69. С. 64
  • Belykh S.F., Matveev V.I., Veryovkin I.V., Adriaens A., Adams F. // Nuclear Inst. and Methods in Phys. Research. B. 1999. V. 155. N 4. P. 409
  • Матвеев В.И. // ЖТФ. 2000. Т. 70. В. 8. С. 108
  • Ферми Э. Научные труды. Т. 1. М.: Наука, 1971. 818 с
  • Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Квантовая механика. М.: Наука, 1989. 768 с
  • Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника. М.: Наука, 1966. 564 с
  • Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Наука, 1978. 792 с
  • Belykh S.F., Rasulev U.Kh., Samartsev A.V., Veryovkin I.V. // Nucl. Instrum. Meth. 1998. V. B 136--138. P. 773
  • Belykh S.F., Rasulev U.Kh., Samartsev A.V., Verkhoturov S.V., Veryovkin I.V. // Microchimica Acta. [Suppl]. 1998. V. 15. P. 379
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.