Диффузия азота в приповерхностной области ионно-легированного молибдена
Замалин Е.Ю.1, Боднарь О.Б.1
1Московская государственная академия приборостроения и информатики
Email: ecofam_036@e-mails.ru
Поступила в редакцию: 8 декабря 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
С помощью Оже-электронной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии исследовалась динамика изменения поверхностной концентрации азота в ионно-легированной монокристаллической фольге Mo с ориентацией (100). Доза имплантации составляла 5·1017 ion/cm2, а энергия имплантации 50 и 100 keV. Диффузионный отжиг образцов проводили при температуре 800-900oC. Оценка коэффициента диффузии азота по времени появления максимума концентрации азота на поверхности образца дает значения на 7-9 порядков меньше, чем коэффициент диффузии в твердом растворе азота в молибдене. В тоже время значение коэффициентов самодиффузии молибдена на 3-5 порядков меньше полученного значения. Высказано предположение об образовании "пересыщенного твердого раствора" азота в молибдене, в котором азот, избыточный по сравнению с пределом растворимости, осаждается на радиационных дефектах и в процессе диффузионного отжига мигрирует вместе с ними.
- Замалин Е.Ю. // Поверхность. 1995. N 6. С. 116--118
- Боднарь О.Б., Замалин Е.Ю., Мамбетов А.К. // Поверхность. 1995. N 7--8. С. 64--67
- Замалин Е.Ю., Боднарь О.Б., Попова Т.В. // Поверхность. 1995. N 7--8. С. 68--70
- Замалин Е.Ю., Боднарь О.Б., Попова Т.В. // Поверхность. 1999. N 8. С. 62--65
- Machtcad 6.0. PLUS. Финансовые, инженерные и научные расчеты в среде Windows 95./ Пер. с англ. М.: Информ. дом "Филинъ", 1996. 712 с
- Ушаков Б.В., Алов Н.В., Козиков С.А. и др. // ФХОМ. 1989. N 5. С. 38--40
- Zemek J., Kral J. // Czech. J. Phys. 1987. V. 37. P. 954--974
- Bodart F., Tericagne G., Piette M. // Mater. Sci. Eng. 1987. P. 111--117
- Буренков АФ., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А. и др. Препринт N 3592/11. M.: ИАЭ, 1982. 28 с
- Кипарисов С.С., Левинский Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1972. 160 c
- Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978. 248 с
- Francfelder R. // J. Chem. Phys. 1968. V. 48. P. 3966
- Ying-Liang M., Jin-Yihs. // Acta Metal. Sinica. 1964. V. 7. P. 68
- Томпсон М. // Дефекты и радиационные повреждения в металлах. М.: Мир, 1971. 368 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук