Пленки VOx с улучшенными болометрическими характеристиками для ИК-матриц
Зеров В.Ю.1, Куликов Ю.В.1, Маляров В.Г.1, Хребтов И.А.1, Шаганов И.И.1, Шадрин Е.Б.1
1ВНЦ Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, С.-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 13 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.
Сообщается о результатах исследований пленок оксида ванадия (VOx), полученных на кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления и предназначенных для использования в неохлаждаемых микроболометрических матрицах. Определены условия осаждения пленок, позволяющие снизить уровень токового 1/f-шума в 3-10 раз, расширить динамический диапазон и интервал рабочих температур микроболометров. Обнаружена зависимость уровня 1/f-шума в пленках VOx от содержания в них фазы VO2 и от размеров зерен этой фазы. Предполагается, что наблюдаемый 1/f-шум вызван мартенситными превращениями, характерными для фазового перехода полупроводник-металл в VO2.
- Хребтов И.А., Маляров В.Г. // Оптический журнал. 1977. Т. 64. N 6. С. 3--17
- Breen T., Kohin M., Marshall C.A., Murphy R., White T., Leary A., Parker T. // Proc. SPIE. 1999. V. 3698. P. 308--319
- Malyarov V.G., Khrebtov I.A., Kulikov Yu.V., Shaganov I.I., Zerov V.Yu., Feoktistov N.A. // Proc. SPIE. 1999. V. 3819. P. 136--142
- Зеров В.Ю., Куликов Ю.В., Леонов В.Н., Маляров В.Г., Хребтов И.А., Шаганов И.И. // Оптический журнал. 1999. Т. 66. N 5. С. 8--12
- Hooge F.N., Kleinpenning T.G.M., Vandamme L.K.G. // Rep. Prog. Phys. 1981. V. 44. N 5. P. 479--532
- Хахаев И.А., Чудновский Ф.А., Шадрин Е.Б. // ФТТ. 1994. Т. 36. N 6. С. 1643--1649
- Bruckner W., Opperman H., Reichelt W.F., Terukov E.I., Tschudnovskii F.A. // Akademie-Verlag. Berlin, 1994. V. 1983. S. 252
- Вихнин В.С., Гончарук И.Н., Давыдов В.Ю., Чудновский Ф.А., Шадрин Е.Б. // ФТТ. 1995. Т. 37. N 12. С. 3580--3596
- Байдакова М.В., Бобыль А.В., Маляров В.Г., Третьяков В.В., Хребтов И.А., Шаганов И.И. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 13. С. 58--65
- Malyarov V.G., Khrebtov I.A., Smirnov A.D., Raguzina L.S., Zerov V.Yu., Kulikov Yu.V., Shaganov I.I. // Proc. SPIE. 2000 (in press)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук