Вышедшие номера
Пленки VOx с улучшенными болометрическими характеристиками для ИК-матриц
Зеров В.Ю.1, Куликов Ю.В.1, Маляров В.Г.1, Хребтов И.А.1, Шаганов И.И.1, Шадрин Е.Б.1
1ВНЦ Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, С.-Петербург Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 13 ноября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Сообщается о результатах исследований пленок оксида ванадия (VOx), полученных на кремниевых подложках методом реактивного магнетронного распыления и предназначенных для использования в неохлаждаемых микроболометрических матрицах. Определены условия осаждения пленок, позволяющие снизить уровень токового 1/f-шума в 3-10 раз, расширить динамический диапазон и интервал рабочих температур микроболометров. Обнаружена зависимость уровня 1/f-шума в пленках VOx от содержания в них фазы VO2 и от размеров зерен этой фазы. Предполагается, что наблюдаемый 1/f-шум вызван мартенситными превращениями, характерными для фазового перехода полупроводник-металл в VO2.