Вышедшие номера
Процессы токопереноса в тонких пленках оксидов лютеция и тербия на кремнии
Федоренко Я.Г.1, Отавина Л.А.1, Коренюк С.В.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: fedorenkoyg@info.sgu.ru
Поступила в редакцию: 11 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.

Приведены результаты экспериментального исследования процессов токопереноса в тонких пленках оксидов редкоземельных элементов Lu2O3 и Tb2O3 на кремнии. Показано, что в зависимости от условий эксперимента преобладает либо термополевая эмиссия, либо надбарьерная эмиссия. При освещении структур величина эффективного поверхностного барьера не изменялась. Представленные результаты являются важными с точки зрения практических приложений тонкопленочных систем на основе оксидов редкоземельных элементов.