Вышедшие номера
Образование и свойства поверхностного фосфида на (100)W
Галль Н.Р.1, Рутьков Е.В.1, Тонтегоде А.Я.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: gall@ms.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 28 января 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2000 г.

Изучена адсорбция молекул PCl3 на (100)W в широкой области температур 300-2000 K. Показано, что при T>1100 K такая адсорбция приводит к образованию поверхностного фосфида вольфрама, и определен его состав - это WP с поверхностной концентрацией атомов фосфора (1± 0.15)· 1015 cm-2. Адсорбция атомов Si при 1300 K на поверхностный фосфид приводит к вытеснению атомов P с поверхности и замещению их атомами кремния.