Свойства термообработанного кремния, легированного эрбием при выращивании
Власов С.И.1, Назыров Д.Э.1, Иминов А.А.1, Худайбердиев С.С.1
1Ташкентский государственный университет им. М. Улугбека, Узбекистан
Поступила в редакцию: 30 октября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Впервые исследовано влияние термических обработок на электрические свойства кремния n-типа, легированного эрбием при выращивании. Показано, что при термических обработках в интервале температур 900/ 1200oC в течение 1-2 h в воздухе с последующей закалкой или медленным охлаждением наличие эрбия в кремнии приводит к подавлению высокотемпературных дефектов.
- Mandelkorn J., Schwartz L., Broder J., Kautz H., Ulman R. // J. Appl. Phys. 1964. V. 35. N 7. P. 2258--2260
- Баграев Н.Т., Власенко Л.С., Волле В.М., Воронков В.Б., Грехов И.В., Добровенский В.В., Шагун А.И. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 5. С. 917--928
- Назыров Д.Э., Регель А.Р., Куликов Г.С. // Препринт ФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР. Л., 1987. N 1122. С. 1--56
- Малкович Р.Ш., Назыров Д.Э. // Письма в ЖТФ. 1988. Т. 15. В. 4. С. 38--40
- Берман Л.С., Лебедев А.А. // Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л., Наука, 1981. 176 с
- Павлов Л.П. // Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высш. школа, 1987. 239 с
- Берман Л.С., Власов С.И. // ФТП. 1978. Т. 10. В. 3, C. 559--561
- Бахадырханов М.K., Талипов Ф.М. // УФЖ. 1992. N 6. С. 5--18
- Петров В.В., Просолович В.С., Карпов Ю.А., Харченко В.Л. // ФТП. 1986. Т. 20. В. 7. С. 1339--1342
- Назыров Д.Э., Куликов Г.С., Малкович Р.Ш. // ФТП. 1991. Т. 25. В. 9. С. 1653--1654
- Зайнабидинов С.З., Назыров Д.Э., Акбаров А.Ж., Иминов А.А., Тоштемиров Т.М. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. N 2. С. 68--71
- Абдурахманов К.П., Шеримбетов Т., Котов Б.А., Амиров Ю.Я., Назыров Д.Э. // ФТП. 1986. Т. 20. В. 11. С. 1339. Деп. ВИНИТИ. N P4155
- Абдурахманов К.П., Ходжаев М.Д., Умаров Т.А., Тешабаев А.Т. // Изв. АН УзССР. 1986. В. 3. С. 64--66
- Малкович Р.Ш., Назыров Д.Э. // Письма в ЖТФ. 1989. Т. 15. В. 4. С. 38--40
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук