Ионное легирование кремния иттербием
Назыров Д.Э.1, Гончаров С.А.1, Суворов А.В.1
1Ташкентский государственный университет им. М. Улугбека, Узбекистан Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 30 октября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Приводятся результаты впервые выполненного исследования распределения постимплантационных нарушений при внедрении редкоземельного элемента иттербия в кремний. Получен профиль внедренного иттербия, который совпал с профилем радиационных нарушений.
- Назыров Д.Э., Куликов Г.С., Регель А.Р. Кремний, легированный редкоземельными элементами. Препринт ФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР. Ленинград. 1977. 56 с
- Малкович Р.Ш., Назыров Д.Э. // Письма в ЖТФ. 1989. Т. 15. В. 4. С. 38--40
- Гончаров С.А., Соколов В.И. Тез. докл. Всесоюзн. конф. по радиационным дефектам в металлах. Алма-ата. 1983. С. 9
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук