Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Дальнодействующее геттерирование микродефектов в монокристаллах кремния при формировании на их поверхности слоев пористого кремния и ионном облучении
Перевощиков В.А.1, Скупов В.Д.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия 
Поступила в редакцию: 12 ноября 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.
Приводятся экспериментальные данные о растворении микродефектов в приповерхностных областях монокристаллов кремния при электрохимическом формировании слоев пористого кремния и последующем облучении ионами аргона. Уменьшение концентрации микродефектов зафиксировано вблизи границы раздела с пористым кремнием и вблизи обратной поверхности образцов.
- Лабунов В.А., Бондаренко В.П., Борисенко В.Е. // Зарубежная электронная техника. 1978. N 15. С. 3--47
- Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. P. 1046
- Куликов А.В., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. и др. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. В. 13. С. 27--31
- Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д. и др. // ФТП. 1986. Т. 20. С. 503--507
- Перевощиков В.А., Скупов В.Д., Шенгуров В.Г. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1998. N 4. С. 44--46
- Алехин В.П. Физика прочности и пластичности поверхностных слоев материалов. М.: Наука, 1983. 280 с
- Горшков О.Н., Перевощиков В.А., Скупов В.Д. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1989. N 7. С. 155--157
- Палатник Л.С., Черемской П.Г., Фукс М.Я. Поры в пленках. М.: Энергоиздат, 1982. 216 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
