Энергетическая цена иона в комбинированном индукционно-емкостном ВЧ разряде
Дудин С.В.1, Зыков А.В.1, Положий К.И.1, Фареник В.И.1
1Харьковский государственный университет Научный физико-технологический центр, Харьков
Поступила в редакцию: 11 ноября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1998 г.
Экспериментально измерены зависимости энергетической цены иона eta от параметров комбинированного ВЧ индукционно-емкостного (ВЧИЕ) разряда при низких давлениях (p<10-2 Torr). Установлено, что eta не зависит от подводимой мощности, существует минимум eta в зависимости по давлению, а также обнаружен эффект снижения eta при подаче ВЧ потенциала на электроды. Полученные результаты позволили найти параметры системы, оптимальные с точки зрения энергетической эффективности ионообразования, и могут быть полезными для уточнения теоретических моделей комбинированного ВЧИЕ разряда.
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972
- Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука и Д. Брауна. М.: Мир, 1987
- Будянский А.М., Зыков А.В., Фареник В.И. Высокочастотный источник ионов. Патент Украины N 2426, патент РФ N 1570549 от 28.06.93
- Jes Asmussen // J. Vac. Sci. Technol. 1989. A7(3). P. 883
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н. // Физика плазмы. 1992. Т. 18. В. 9. С. 1211
- Дудин С.В., Зыков А.В., Положий К.И. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 19. С. 54--59
- Hopwood J.A. // Plasma Sourсes Sci. Technol. 1992. V. 1. P. 109
- Turner M.M. // Phys. Rev. Lett. 1993. V. 71. P. 1844
- Lieberman M.A. // J. Appl. Phys. 1989. V. 65. P. 4186
- Будянский А.М. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 1. С. 17
- Ogle J.S. US Patent 4948458. 1990
- Coultas D.K., Keller J.H. European Patent. Publication N 0379828. A2. 1990
- Misium G.R., Lichtenberg A.J., Lieberman M.A. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1989. V. 7. P. 1007
- Lieberman M.A. // J. Appl. Phys. 1986. V. 65. P. 4186
- Будянский А.М. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. В. 1. С. 17
- Бондаренко В.Г., Денисов В.П., Еремин Б.Г. и др. // Физика плазмы. 1991. Т. 17. В. 6. С. 756
- Kaganovich I.D., Tsendin L.D. // IEEE Transactions on Plasma Science. 1992. V. 20. N 2. P. 66--75
- Kaganovich I.D.,, Tsendin L.D. // IEEE Transactions on Plasma Science. 1992. V. 20. N 2. P. 86--92
- Wood B.P., Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. // IEEE Transactions on Plasma Science. 1995. V. 23. N 1. P. 89--96
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук