"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Экстремальный характер изменения обратного тока кремниевых p+-n структур в процессе формирования омических никелевых контактов
Богач Н.В.1, Литвиненко В.Н.1, Марончук И.Е.1
1Харьковский государственный технический университет
Поступила в редакцию: 22 октября 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1998 г.

Описано исследование образования силицида никеля при формировании омических контактов кремниевых приборов и связь процесса с длительностью термической обработки.
  1. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. 570 с
  2. Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
  3. Рейви К. Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии. М.: Мир, 1984. 472 с
  4. Воробьев Ю.В., Добровольский В.П., Стриха В.И. Методы исследования полупроводников. Киев: Выща школа, 1988. 232 с
  5. Компенсированный кремний / Под ред. Б.И. Болтакса. Л.: Наука, 1972. 124 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.