Новый метод формирования тонких пленок
Ходорковский М.А.1, Шахмин А.Л.1, Мурашов С.В.1, Алексеев А.М.1, Голод Ю.А.1, Федоров А.Н.1
1Российский научный центр "Прикладная химия" С.-Петербургский Объединенный исследовательский центр (ЦКП)
Поступила в редакцию: 10 октября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.
Предлагается новый метод нанесения тонких пленок с помощью импульсного сверхзвукового молекулярного пучка, обогащенного молекулами напыляемого материала, и проведено сравнение возможностей этого метода с традиционным. На примере уникальных свойств тонких пленок фуллерена, полученных экспериментально с помощью этого метода, делаются выводы о перспективах его использования для нанесения пленок различных материалов.
- Girard Ch., Lambin Ph., Dreux A., Lucas A.A. // Phys. Rev. B. 1994. V. 49. N 16. P. 11425--11432
- Kolodney E., Budrevich A., Tsipinyuk B. // J. Phys. Chem. 1996. V. 100. P. 1475--1479
- Андерсон Дж., Андерс Р., Фен Дж. Исследования с молекулярными пучками в сб. Молекулярные пучки, получаемые с помощью сверхзвукового сопла. М.: Мир, 1969. C. 299--345
- Ходорковский М.А., Марков А.А., Долгин А.И. // ЖТФ. 1989. Т. 59. В. 8. С. 89--91
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук