Влияние атмосферы метана на температурную зависимость проводимости пленок поликристаллического кремния
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.
Исследуется возможность использования в газовых сенсорах поликристаллических пленок кремния. Рассматривается влияние напуска небольшого количества метана в окружающую среду на температурную зависимость слоевого сопротивления пленок, легированных акцепторными примесями. Установлено, что сопротивление заметно увеличивается в области температур 470/ 500oC.
- Мясников И.А., Сухарев В.Я., Куприянов П.Ю., Завьялов С.А. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях. М.: Наука, 1991. С. 39
- Технология СБИС. Пер. с англ. / Под ред. С. Зи. Т. 1. М.: Мир, 1986. 404 с
- Павлов Д.А., Шенгуров В.Г., Шенгуров Д.В., Хохлов А.Ф. // ФТП. 1995. Т. 29. В. 2. С. 286--290
- Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применение. / Пер. с англ. Под ред. Л. Казмерски. М.: Мир, 1983. 304 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук