"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов редкоземельных элементов
Петров А.И.1, Рожков В.А.1
1Самарский государственный университет
Поступила в редакцию: 23 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.

Исследованы рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов редкоземельных элементов. Пленки оксидов редкоземельных элементов получали методом термического резистивного распыления редкоземельного металла с последующим термическим оксилением полученного слоя на воздухе при температуре 400oC. Установлено, что после нанесения пленки оксида редкоземельного элемента эффективное время жизни неравновесных носителей заряда, измеренное методом релаксации фотопроводимости, возрастает в 2-3 раза. Определены величины скорости поверхностной рекомбинации на границе раздела кремний-оксид редкоземельного элемента, которые для различных оксидов редкоземельных элементов имели значения 290-730 cm/s. Сочетание высокой оптической прозрачности исследованных материалов и низких рекомбинационных потерь в кремнии, покрытом пленкой оксида редкоземельного элемента, позволяет рекомендовать пленки оксидов редкоземельных элементов в качестве оптических просветляющих и пассивирующих покрытий для кремниевых фотоэлектрических приборов.
  1. Рожков В.А., Петров А.И. // Изв. вузов. Физика. 1994. N 7. С. 99--104
  2. Аношин Ю.А., Петров А.И., Рожков В.А., Шалимова М.Б. // ЖТФ. 1994. Т. 64. В. 10. С. 118--123
  3. Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечные элементы / Пер. с англ. М.: Энергоатомиздат, 1987. 278 с
  4. Ржанов А.В. Электронные процессы на поверхности полупроводников. М.: Наука, 1971. 480 с
  5. Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник. Киев: Наук. думка, 1978. 316 с
  6. Саченко А.В., Новоминский Б.А., Калшабеков А.С. // Тез. докл. XII Всесоюз. науч. конф. по микроэлектронике. Ч. 3. Тбилиси, 1987. С. 143

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.