Вышедшие номера
Рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов редкоземельных элементов
Петров А.И.1, Рожков В.А.1
1Самарский государственный университет
Поступила в редакцию: 23 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.

Исследованы рекомбинационные свойства кремния, пассивированного пленками оксидов редкоземельных элементов. Пленки оксидов редкоземельных элементов получали методом термического резистивного распыления редкоземельного металла с последующим термическим оксилением полученного слоя на воздухе при температуре 400oC. Установлено, что после нанесения пленки оксида редкоземельного элемента эффективное время жизни неравновесных носителей заряда, измеренное методом релаксации фотопроводимости, возрастает в 2-3 раза. Определены величины скорости поверхностной рекомбинации на границе раздела кремний-оксид редкоземельного элемента, которые для различных оксидов редкоземельных элементов имели значения 290-730 cm/s. Сочетание высокой оптической прозрачности исследованных материалов и низких рекомбинационных потерь в кремнии, покрытом пленкой оксида редкоземельного элемента, позволяет рекомендовать пленки оксидов редкоземельных элементов в качестве оптических просветляющих и пассивирующих покрытий для кремниевых фотоэлектрических приборов.