"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Инфракрасная спектроскопия поверхности кремния, подвергнутого бомбардировке ионами азота
Бачурин В.И.1, Лепшин П.А.1, Смирнов В.К.1, Чурилов А.Б.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 23 сентября 1997 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1998 г.

Проведено исследование методом инфракрасной Фурье-спектроскопии пропускания процессов формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния с образованием нитрида кремния, эволюции его состава и структуры при облучении поверхности ионами азота. Впервые сделана попытка проследить эволюцию формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния, анализируя основные спектральные характеристики (амплитуду, положение и форму) полос ИК поглощения. Показано, что изменение формы характерной полосы поглощения и положение максимума коррелируют с особенностями процесса образования рельефа на поверхности кремния. Продемонстрирована возможность использования метода ИК спектроскопии пропускания для изучения процессов структурирования поверхности полупроводников при облучении ионами химически активных элементов.
  1. Elst K., Vandervorst W. // J. Vac. Sci. Teсhnol. A. 1994. V. 12. N 6. P. 3205--3216
  2. Karen A., Nakagawa Y., Hatada M. et al. // Surf. Interface Anal. 1995. V. 23. P. 506--513
  3. Vajo J.J., Doty R.E., Cirlin E.-H. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. N 5. P. 2709--2720
  4. Moon D.W., Kim K.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. V. 14. N 5. P. 2744--2756
  5. Wittmaak K. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1990. V. 8. N 3. P. 2246--2250
  6. Cмирнов В.К., Курбатов Д.А., Потапов Е.В., Жохов А.В. // Поверхность. 1993. N 10. С. 65--73
  7. Смирнов В.К., Кривелевич С.А., Лепшин П.А., Кибалов Д.С. // Неорганические материалы. 1998 (в печати)
  8. Коттон Ф., Уилкинсон Дж. Современная неорганичеcкая химия. В 3-х частях. М.: Мир. 1969. Ч. 1. 223 с. Ч. 2. 494 с. Ч. 3. 592 с
  9. Luckovsky G., Yang J., Chao S.S. et al. // Phys. Rev. B. 1983. V. 28. N 6. P. 3234--3240
  10. Волгин Ю.Н., Уханов Ю.И. // Опт. и спектр. 1975. V. XXXVIII. N 4. С. 727--730

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.