Структура, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана, подвергнутых облучению непрерывными потоками ионов
Романов И.Г.1, Царева И.Н.1, Кривина Л.А.1
1Нижегородский филиал Института машиноведения им. А.А. Благонравова РАН
Поступила в редакцию: 10 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.
Приведены результаты влияния ионной бомбардировки при малых дозах 1014-1015 cm-2 на структуру, механические и фрикционные свойства пленок нитрида титана. Показано, что при этих дозах в материале мишени происходят процессы пластической деформации, изменяющие степень кристалличности. Подбирая условия облучения, можно в достаточно широком интервале варьировать свойства пленок TiN.
- Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу. М.: Физматгиз, 1961. С. 255
- Павлов А.П., Тетельбаум Д.И., Курильчик Е.В. и др. // ДАН СССР. 1990. Т. 311. N 3. С. 607--610
- Романов И.Г., Чеканов А.Л. // Поверхность. 1993. N 5. С. 40--43
- Девятых Г.Г., Гусев А.В., Ширяев А.М. и др. // Высокочистые вещества. 1992. N 5--6. С. 167--170
- Крагельский И.В., Михин Н.М. Узлы трения машин. М.: Металлургия, 1984. С. 280
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
