Образование сквозного низкоомного слоя металл--Si, полученного под действием CO2-лазерного излучения
Шкумбатюк П.С.1
1Драгобычский педагогический институт
Поступила в редакцию: 25 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1998 г.
Описаны некоторые особенности, возникающие в результате воздействия CO2-лазера на слой металл-кремний, в частноcти сквозной низкоомный слой. Высказывается предположение, что сквозной низкоомный слой образуется вследствие твердофазного растворения металла в Si или диффузией металла в дефектах, образованных лазерным излучением.
- Weeks R.A. // J. Non-Crystall. Solids. 1983. V. 71. N 2. P. 435--442
- Зотеев А.В., Киселев В.Ф. // Вестн. МГУ. Сер. физика и астрон. 1987. Т. 28. N 1. С. 20--34
- Boyd I.W. // J. Appl. Phys. 1983. V. 54. N 10. P. 3561--3567
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук