Управление морфологией пористого кремния n-типа
Бучин Э.Ю.1, Проказников А.В.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 26 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.
В работе морфология получаемых при анодном травлении слоев связана с вольт-амперными характеристиками электролитной ячейки во время травления. Проводя травление в разных точках вольт-амперной характеристики, можно получить пористый кремний с разной структурой.
- Smith R.L., Collins S.D. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 8. P. R1--R22
- Bomchil G., Herino R. // L'Echo Recherches. 1988. V. 131. P. 25--36
- Lehmann V., Foll H. // J. Electrochem. Soc. 1990. V. 137. P. 653--661
- Arita Y., Sunohara Y. // J. Electrochem. Soc. 1977. V. 124. N 2. P. 285--295
- Изидинов С.О., Блохина А.П., Исмайлова Л.А. // Физика и химия обработки материалов. 1987. Т. 2. С. 92--96
- Бучин Э.Ю., Постников А.В., Проказников А.В., Световой В.Б., Чурилов А.Б. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 1. С. 60--65
- Buchin E.Yu., Churilov A.B., Postnikov A.V., Prokaznikov A.V., Svetovoy V.B. // Phys. Low-Dim. Struct. 1995. V. 2/3. P. 97--104
- Buchin E.Yu., Churilov A.B., Prokaznikov A.V. //Appl. Surf. Sci. 1996. V. 102. P. 431--435
- Мямлин В.А., Плесков Ю.В. Электрохимия полупроводников. М.: Наука, 1965. 337 с
- Гуревич Ю.Я., Плесков Ю.В. Фотоэлектрохимия полупроводников. М.: Наука, 1983. 312 с
- Lehmann V. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 10. P. 2836--2843
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук