Характер динамики системы электролит--кремний n-типа при анодировании в растворах плавиковой кислоты
Бучин Э.Ю.1, Проказников А.В.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 5 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1997 г.
В работе исследовалась динамика морфологии пористого кремния при анодировании в плавиковой кислоте. Вольтамперные характеристики, их изменение во времени, зависимость напряжения от времени системы электролит-кремний чрезвычайно информативны с точки зрения построения общей теории порообразования в кремнии. Указывается на возможность существования бифуркации перехода к гармоническим колебаниям величины U(t) в ходе анодирования. При этом закономерности процесcов порообразования до и после бифуркации, по-видимому, различные.
- Smith R.L., Collins S.D. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 8. P. R1--R22
- Изидинов С.О., Блохина А.П., Мартынова Т.С. // Электрохимия. 1985. Т. 21. В. 9. С. 1172--1179
- Beale M.I.J., Benjamin J.D., Uren M.J., Chew N.G., Cullis A.G. // J. Cryst. Growth. 1985. V. 73. P. 622--636
- Zhang X.G. // J. Electrochem. Soc. 1991. V. 138. N 12. P. 3750--3756
- Lehmann V. // J. Electrochem. Soc. 1993. V. 140. N 10. P. 2836--2843.
- Smith B.I., Chuang S.-F., Collins S.D. // J. Electron. Materials. 1988. V. 17. N 6. P. 533--541
- Parkhutik V.P., Albela J.M., Martinez-Duart J.M., Gomez-Rodriguez J.M., Baro A.M., Shershulsky V.I. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. N 4. P. 366--368
- Parkhutik V.P., Shershulsky V.I. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1992. V. 25. P. 1258--1263.
- Андронов А.А., Витт А.А., Хайкин С.Э. // Теория колебаний. М.: Наука, 1981. 568 с
- Бучин Э.Ю., Постников А.В., Проказников А.В., Световой В.Б., Чурилов А.Б. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. В. 1. С. 60--65
- Buchin E.Yu., Churilov A.B., Postnikov A.V., Prokaznikov A.V., Svetovoy V.B. // Phys. Low-Dim. Struct. 1995. V. 2/3. P. 97--104
- Buchin E.Yu., Churilov A.B., Prokaznikov A.V. // International Simposium on "Si Heterostructures: form Physics to Devices". 1995, Fodele, Crete, Greece. P. 149
- Arita Y., Sunohara Y. // J. Electrochem. Soc. 1977. V. 124. N 2. P. 285--295
- Russ J.C. Fractal Surfaces. New-York and London: Plenum Press. 1994. 309 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
