Динамика роста GaAs на вицинальной поверхности GaAs (100) в методе миграционно-стимулированной эпитаксии: компьютерное моделирование
Цырлин Г.Э.1
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 января 1997 г.
В работе с помощью компьютерной модели роста бинарных полупроводниковых соединений A3B5 из потоков димеров анионов и атомарных катионов проведено исследование временных зависимостей средней высоты и шероховатости пленки на примере GaAs при различных условиях роста при использовании миграционно-стимулированной эпитаксии на вицинальной поверхности GaAs(100).
- Sakaki H., Tanaka M., Yoshimo J. // J. Jpn. Appl. Phys. 1985. V. 24. P. L417--L420
- Shimizu S., Tsukakoshi O., Komiya S., Makita Y. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1985. V. 3. N 2. P. 554--559
- Yamaguchi H., Kawashima M., Horikoshi Y. // Appl. Surf. Sci. 1988. V. 33/34. P. 406--412
- Foxon C.T. // J. Crystal Growth. 1989. V. 95. P. 11--16
- Nagata S., Tanaka T. // J. Appl. Phys. 1977. V. 48. N 3. P. 940--942
- Филаретов А.Г., Цырлин Г.Э. // ФТТ. 1991. Т. 33. В. 5. C. 1329--1336
- Arthur J.R. // Surf. Sci. 1974. V. 43. N 2. P. 449--461
- Horikoshi Y., Kawashima M., Kobayashi N. // J. Crystal Growth. 1991. V. 111. P. 200--204
- Takamo Y., Lopez M., Torihata T., Ikei T., Kamaya Y., Pak K., Yonezu H. // J. Crystal Growth. 1991. V. 111. P. 216--220
- Cirlin G.E. // Proc. 4th Int. Conf. on Physics Computing. World Scientific (Ed. R. de Groot and J. Nadrchal). P. 303--304
- Cirlin G.E., Guryanov G.M., Golubok A.O., Tipissev S.Ya., Ledentsov N.N., Kop'ev P.S., Grundmann M., Bimberg D. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67. P. 97--99
- Guryanov G.M., Cirlin G.E., Petrov V.N., Polyakov N.K., Golubok A.O., Tipissev S.Ya., Gubanov V.B., Samsonenko Yu.B., Ledentsov N.N., Shchukin V.A., Grundmann M., Bimberg D., Alferov Zh.I // Surf. Sci. 1996. V. 352--354. P. 651--655
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.