Кинетическая модель роста GaAs (100) из молекулярных пучков
Карпов С.Ю.1, Майоров М.А.1
1Центр перспективных технологий и разработок, С.-Петербург
Поступила в редакцию: 10 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.
Построена кинетическая модель роста GaAs(100) из молекулярных пучков. Рассмотрены элементарные процессы на поверхности: хемисорбция атомов и молекул, встраивание атомов в кристалл, декомпозиция кристалла и десорбция атомов III и молекул V группы в вакуум. Коэффициенты прилипания и кинетические константы получены из прямого сравнения с экспериментальными данными. Модель позволяет определить десорбированные и отраженные от поверхности потоки, скорость роста, покрытия поверхности атомами III и групп в зависимости от падающих потоков и температуры. С помощью модели можно оценить границы применимости термодинамического подхода, а также минимальную температуру эпитаксии. Результаты расчетов хорошо согласуются с экспериментальными наблюдениями.
- Karpov S.Yu., Maiorov M.A. // Surf. Sci. 1995. V. 344. P. 11
- Foxon C.T., Joyce В.А. // Surf. Sci. 1975. V. 50. P. 434
- Brennan T.M., Tsao J.Y., Hammons B.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. A 10. P. 33
- Arthur J.R. // Surf. Sci. 1974. V. 43. P. 449
- Tsao J.Y., Brennan T.M., Klem J.F., Hammons B.E. // J. Vac. Sci. Technol. 1989. A 7. P. 2138
- McCaulley J.A., Donnelly V.M. // J. Chem. Phys. 1989. V. 91. P. 4330
- Таблицы физических величин: Справочник / Под ред. И.К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976
- Newstead S.M., Kubiak R.A.A., Parker E.H.C. // J. Cryst. Growth 1987. V. 81. P. 1
- Arthur J.R. // J. Phys. Chem. Solids. 1967. V. 28. P. 2257
- Seki H., Koukitu A. // J. Cryst. Growth. 1986. V. 78. P. 342
- SpringThorpe A.J., Mandeville P. // J. Vac. Sci. Technol. 1988. B 6(2). P. 754
- Heckingbottom // Molecular Beam Epitaxy and Heterostructures / Eds. L. L. Chang and K. Ploog. Martinus Nijhoff, Dordrecht, 1985. Пер. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры / Под ред. Л. Ченга и К. Плога. М.: Мир, 1989
- Shen J.Y., Chatillon C. // J. .Crystal Growth. 1990. V. 106. P. 553
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук