Вышедшие номера
Термохимическая неустойчивость травления полимеров в плазме ВЧ разряда
Магунов А.Н.1
1Институт микроэлектроники РАН, Ярославль
Поступила в редакцию: 30 октября 1992 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1992 г.