Распределение электронов по энергии при СВЧ вакуумно-плазменной обработке в магнитном поле
Яфаров Р.К.1, Назаров А.А.1
1Институт радиотехники и электроники Саратовский филиал
Поступила в редакцию: 24 января 1994 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1994 г.
- Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме. М., 1980. 310 с
- Яфаров Р.К., Назаров А.А., Мевлют Э.Т. Письма в ЖТФ. 1989. Т. 15. В. 19. С. 73--77
- Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. В. 24. С. 2211--2214
- Карманов В.Г. Математическое программирование. М., 1986. 286 с
- Heidenreich J.E., Paraszczak J.R., Moisan M., Sauve G. J. Vac. Sci. Technol. 1988. V. 6. N 1. P. 288--292
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.