Физико-химические процессы на границе раздела контактов Au/Pt/Cr/Pt/GaAs, подвергнутых СВЧ отжигу
Миленин В.В.1, Конакова Р.В.1, Статов В.А.1, Скляревич В.Е.1, Тхорик Ю.А.1, Филатов М.Ю.1, Шевелев М.В.1
1Институт физики полупроводников Киев Институт электросварки им.Е.О.Патона Киев
Поступила в редакцию: 9 ноября 1993 г.
Выставление онлайн: 20 января 1994 г.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции Под ред. Дж. Поута, К.Ту, Дж.Мейерта. М.: Мир. 1982. 576 с
- Стриха В.И., Бузанева Е.В. Физические основы надежности контактов металл-полупроводник в интегральной электронике. М.: Радио и связь, 1987. 256 с
- Practical Surface Analysis by Anger and X-ray Photoelectron Spectroscopy. Ed. by Biggs D. and Seach M.P. N.Y; 1983. 205 p
- Родерик Э.Х. Контакты металл-полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 209 с
- Борковская О.Ю., Дмитрук Н.Л., Конакова Р.В., Филатова М.Ю. \commes Укр. физ. журнал. 1986. В. 19. С. 1021--1028
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук