"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния
Черниенко А.В.1, Астрова Е.В.1, Жарова Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: cheal@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Продемонстрировано получение высокоаспектных структур с тонкими гофрированными стенками путем обработки макропристого кремния с тригональной решеткой в анизотропных травителях. Для этого перед электрохимическим травлением создается определенная ориентация рисунка затравочных ямок относительно кристаллографических осей и применяется определенный состав раствора для обработки макропор после анодирования. Обсуждается возможность применения зигзагообразных структур в качестве анодов литий-ионных аккумуляторов.
  1. Lehmann V. Electrochemistry of Silicon. Weinheim: Wiley-VCH, 2002
  2. Foll H., Christophersen M., Carstensen J., Haase G. // Mat. Sci. Eng. 2002. V. R 39. P. 93-141
  3. Barillaro G., Bruschi P., Diligenti A., Nannini A. // Phys. Stat. Sol. C. 2005. V. 2 (9). P. 3198-3202
  4. Astrova E.V., Fedulova G.V. // J. Micromech. Microeng. 2009. V. 19. P. 095 009 (11 p.)
  5. Geppert T., Schweizer S.L., Gosele U., Wehrspohn R.B. // Appl. Phys. A. 2006. V. 84. P. 237-242
  6. Langner A., Muller F., Gosele U. // Molecular- and Nano-Tubes. Chap. 13. Halle: Springer Science+Business Media, LLC, 2011
  7. Matthias S., Muller F., Gosele U. // J. Appl.Phys. 2005. V. 98. P. 023 524 (4-pp)
  8. Lehmann V. // Phys. Stat. Sol. A. 2007. V. 204 (5). P. 1318-1320
  9. Elwenspoek M., Jansen H.V. Silicon micromachining. Cambridge: Cambridge University Press, 2004
  10. Zubel I., Kramkowska M. // Sensors Actuators. A. 2002. V. 101. P. 255-261
  11. Foll H., Hartz H., Ossei-Wusu E.K., Carstensen J., Riemenschneider O. // Phys. Stat. Sol. RRL. 2010. V. 4 (1). P. 4
  12. Leisner M., Cojocaru A., Ossei-Wusu E., Carstensen J., Foll H. // Nanoscale Res. Lett. NANO EXPRESS. 2010. V. 5. P. 1502
  13. Ossei-Wusu E.K., Cojocaru A., Hartz H., Carstensen J., Foll H. // Phys. Stat. Sol. A. 2011. V. 208 (6). P. 1417-1421
  14. Foll H., Carstensen J., Ossei-Wusu E., Cojocaru A., Quiroga-Ganza'lez E., Neumann G. // J. Electrochem. Soc. 2011. V. 158. P. A580-A584
  15. Астрова Е.В., Федулова Г.В., Смирнова И.А., Ременюк А.Д., Кулова Т.Л., Скундин А.М. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37 (15). С. 87-93
  16. Kasavajjula U., Wang C., Appleby A.J. // J. Power Sources. 2007. V. 163. P. 1003-1039

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.