Вышедшие номера
Зигзагообразные структуры, полученные анизотропным травлением макропористого кремния
Черниенко А.В.1, Астрова Е.В.1, Жарова Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: cheal@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Продемонстрировано получение высокоаспектных структур с тонкими гофрированными стенками путем обработки макропристого кремния с тригональной решеткой в анизотропных травителях. Для этого перед электрохимическим травлением создается определенная ориентация рисунка затравочных ямок относительно кристаллографических осей и применяется определенный состав раствора для обработки макропор после анодирования. Обсуждается возможность применения зигзагообразных структур в качестве анодов литий-ионных аккумуляторов.