"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Изменения элементного состава и микроструктуры мишени YBa2Cu3O7-delta при магнетронном распылении
Мастеров Д.В.1, Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Павлов С.А.1, Парафин А.Е.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 13 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Методом рентгенофазового анализа и вторично-ионной масс-спектрометрии исследованы мишени высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta, подвергшиеся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе. Установлено, что в процессе магнетронного распыления на постоянном токе происходят диффузионное обеднение по кислороду и структурная перестройка поверхности мишени, вызываемые радиационным и тепловым воздействием бомбардирующих ионов. Предполагается, что такие изменения в мишени являются причиной снижения скорости роста YBa2Cu3O7-delta пленок.
  • Selinder T.I., Larsson G., Helmersson U. et al. // Appl. Phys. Lett. 1988. V. 52. N 22. P. 1907
  • Воробьев А.К., Гапонов С.В., Дроздов М.Н. и др. // ФТТ. 2000. Т. 42. В. 4. С. 589
  • Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. // ЖТФ. 2009. Т. 79. В. 1. С. 125
  • Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Дроздов Ю.Н. // ЖТФ. 2007. Т. 77. В. 10. С. 109
  • Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Под ред. Р. Бериша. В.А. / Пер. с англ. под ред. В.А. Молчанова, М: Мир, 1984. 336 с
  • Крупке Р., Азулэ М., Дойтчер Г. Получение пленок YBa-=SUB=-2-=/SUB=-Cu-=SUB=-3-=/SUB=-O-=SUB=-7-delta-=/SUB=- методом распыления. // Токонесущие ленты второго поколения на основе высокотемпературных сверхпроводников / Под ред. А. Гояла. М.: Изд-во ЛКИ, 2009. 432 с
  • Комлев А.Е., Шаповалов В.И., Шутова Н.С. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 7. С. 134
  • Бурмакинский И.Ю., Рогов А.В. ЖТФ. 2004. Т. 74. В. 1. С. 120
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.