Вышедшие номера
Шероховатость пленок аморфного, поликристаллического кремния и поликристаллического кремния с полусферическими зернами
Новак А.В.1,2, Новак В.Р.1,2
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина, Москва, Зеленоград, Россия
Email: novak-andrei@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Изучены шероховатость, пространственные и корреляционные свойства поверхности для трех характерных типов LPCVD пленок кремния: аморфных и поликристаллических, имеющих относительно "гладкую" поверхность, и поликристаллических пленок с полусферическими зернами (HSG-Si), имеющих значительную шероховатость поверхности, посредством атомно-силовой микроскопии. Из анализа корреляционной функции и функции спектральной плотности мощности найдено, что для описания морфологии пленок аморфного и поликристаллического кремния подходит модель самоаффинной поверхности, тогда как для HSG-Si пленок - модель "холмообразной" поверхности.