"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности формирования многослойных наноструктур Ge/Si при ионно-лучевой кристаллизации
Чеботарев С.Н.1,2, Пащенко А.С.1,2, Лунин Л.С.1,2, Ирха В.А.1,2
1Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Специальное конструкторско-технологическое бюро "Инверсия", Ростов-на-Дону
Email: chebotarev.sergei@gmail.com
Поступила в редакцию: 28 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2013 г.

Предложен метод комбинированной ионно-лучевой кристаллизации многослойных наноструктур Ge/Si. Используя атомно-силовую и электронную микроскопию показано, что при температурах подложки кремния T=330-350oC, энергиях EGE+=30-40 eV, E0Ar+=230-240 eV (первичное импульсное дефектообразование), EAr+=130-140 eV (перманентная стимуляция диффузии) и ионных потоках fGe+~ 1.5 · 1014 cm-2· s-1, fAr+~ 5· 1012 cm-2· s-1 образуется массив квантовых точек германия с латеральными размерами < a>=12-15 nm. Данные рамановской спектроскопии указывают на экспериментальную возможность низкотемпературного ионно-стимулированного выращивания спейсерных слоев кремния (T=420-450o C, EAr+=80-90 eV, ESi+=30-40 eV, fSi+=3.5· 1014 cm-2· s-1) и формирования многослойных структур с квантовыми точками GexSi1-x (x>0.85).
  • Sugawara M., Mukai K., Shoji H. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. P. 2791--2793
  • Пчеляков О.П., Болховитянов Ю.Б., Двуреченский А.В., Соколов Л.В., Никифоров А.И., Якимов А.И., Фойхтлендер Б. // ФТП. 2000. Т. 34. В. 11. С. 1281--1299
  • Лунин Л.С., Сысоев И.А., Алфимова Д.Л., Чеботарев С.Н., Пащенко А.С. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 6. С. 58--62
  • Лунин Л.С., Чеботарев С.Н., Пащенко А.С. // Неорганические материалы. 2013. Т. 49. N 5. С. 435--438
  • Лунин Л.С., Чеботарев С.Н., Пащенко А.С. // Неорганические материалы. 2012. Т. 48. N 5. С. 517--522
  • Ishizaka A., Nakagawa K., Shiraki Y. // Proc. MBE-CST-2. Tokyo. 1983. P. 183--186
  • Лозовский В.Н., Чеботарев С.Н., Ирха В.А., Валов Г.В. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 16. С. 1--5
  • Лунин Л.С., Чеботарев С.Н., Пащенко А.С., Дудников С.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2013. N 1. С. 40--44
  • Groenen J., Carles R., Christiansen S., Albrecht M., Dorsch W., Strunk H.P., Wawra H., Wagner G. // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. N 26. P. 3856
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.