Вышедшие номера
Микрорезонаторный интерференционный волоконно-оптический датчик относительной влажности воздуха
Чуренков А.В.1
1Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Долгопрудный, Московская обл., Россия
Email: churenkov@mtu-net.ru
Поступила в редакцию: 18 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2013 г.

Разработан новый тип волоконно-оптического датчика относительной влажности воздуха на основе микромеханического кремниевого микрорезонатора и силикагеля. Выходной сигнал такого датчика в частотной форме малочувствителен к вариациям мощности лазерного источника и случайным затуханиям в волокне. При использовании чисто оптического возбуждения колебаний резонатора чувствительный элемент такого датчика будет полностью пассивным, так как не будет содержать электронных компонентов и цепей. Датчик показал высокую чувствительность при относительной влажности менее 75%, возможность работы при отрицательных температурах, низкую зависимость показаний от температуры воздуха. Зависимость массы влаги, адсорбированной силикагелем, от относительной влажности воздуха оказалась линейной, что упрощает калибровку датчика.