Рост пленок InN методом металлоорганической газофазной эпитаксии при активации азота в плазме, создаваемой гиротронным излучением
Бузынин Ю.Н.1, Викторов М.Е.1, Водопьянов А.В.1, Голубев С.В.1, Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Лукьянов А.Ю.1, Мансфельд Д.А.1, Скороходов Е.В.1, Хрыкин О.И.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород Институт прикладной физики РАН, Нижний Новгород
Email: buzynin@ipm.sci.-nnov.ru
Поступила в редакцию: 6 июля 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.
Впервые методом металлоорганической газофазной эпитаксии с плазменной активацией азота в электронно-циклотронном резонансном разряде, создаваемом излучением технологического гиротрона, при низких (350oC) температурах роста получены пленки InN гексагональной модификации на подложках иттрием стабилизированного циркония, yttria stabilized zirconia (YSZ) ориентаций (111) и (100) и Al2O3 (0001) со скоростью роста 1 mum· h-1. Пленки, выращенные без буферного слоя, имеют структуру текстурированного поликристалла. С использованием двойного буферного слоя InN/GaN на подложках Al2O3 (0001) получены монокристаллические пленки InN. Приводятся данные по морфологии, структуре и фотолюминесцентным свойствам выращенных пленок.
- Junqiao Wu. // J. Appl. Phys. 2009. V. 106. P. 011101
- Yu-Syuan Lin, Shun-Hau Koa, Chih-Yuan Chan, Shawn S.H. Hsu, Hong-Mao Lee, Shangjr Gwo // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 90. P. 142111
- Guo-Guang Wu, Wan-Cheng Li., Chun-Sheng Shen, Fu-Bin Gao, Hong-Wei Liang, Hui Wang, Li-Jun Song, Guo-Tong Du // Appl. Phys. Lett. 2012. P. 103504
- Dimakis E., Nikiforov A.Yu., Thomidis C., Zhou L., Smith D.J., Abell J., Kao C.-K., Moustakas Т.Д. // Phys. stat. sol. (a). 2008. 205. N 5. P. 1070--1073. / DOI 10.1002/pssa. 200778742
- Briot O., Ruffenach S., Moret M., Gil B., Giesen Ch., Heuken M., Rushworth S., Leese T., Succi M. // J. Crystal Growth. 311. 2009. P. 2761--2766
- Nakamura T., Tokumoto Y., Katayam R. // J. Crystal Growth 2007. V. 508. P. 301--302
- Бузынин А.Н., Осико В.В., Бузынин Ю.Н. // Изв. РАН. Сер. Физ. 2010. Т. 74. N 7. С. 1075
- Vodopyanov A.V., Golubev S.V., Mansfeld D.A., Sennikov P.G., Drozdov Yu.N. // Review of Scientific Instruments. 2011. V. 82. P. 063503
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук