"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Полковников В.Н.1, Стариков С.Д.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 29 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

Проведено сопоставление результатов послойного анализа многослойных металлических структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии с использованием различных типов регистрируемых вторичных ионов. Впервые показано, что для повышения разрешения по глубине наряду с известными вторичными ионами CsM+ (M=La, Pd, Mo) могут быть использованы два новых варианта: M+ при распылении ионами цезия и OM- при распылении ионами кислорода. Для многослойных структур Mo/Si использование элементарных вторичных ионов Mo+ и Si+ при распылении ионами Cs и зондировании кластерными ионами Bi+3 обеспечивает наилучшее разрешение по глубине.
  1. Gao Y. // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N 7. P. 3760
  2. Marseilhan D., Barnes J.P., Fillot F., Hartmann J.M., Holliger P. // Appl. Surf. Sci. 2008. V. 255. P. 1412
  3. Gu C.J., Stevie F.A., Hitzman C.J., Saripalli Y.N., Johnson M., Griffis D.P. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 7228
  4. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лобанов Д.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 6. С. 93
  5. Дроздов М.Н., Востоков Н.В., Данильцев В.М., Демидов Е.В., Дроздов Ю.Н., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Известия РАН. Сер. Физ. 2012. Т. 76. N 2. С. 250
  6. Maury H., Holliger P., Fares B., Gautier J., Roulliay M., Bridou F., Delmotte F., Ravet M.-F., Andre J.-M, Jonnard P. // Surf. Interface Anal. 2006. V. 38. P. 781
  7. Jonnard P. // Proc. of SPIE. 2011. V. 7995. 79951T-1
  8. Galtayries A., Hu M.-H., Guen K.Le, Andre J.-M., Jonnard P., Meltchakov E., Hecquet C., Delmotte F. // Surf. Interface Anal. 2010. V. 42. P. 653
  9. Babor P., Duda R., Prusa S., Matlocha T., Kolibal M., Cechal J., Urbanek M., Sikola T. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2011. V. 269. P. 369
  10. Cwil M., Konarski P., Ciosek J. // Int. J. Mass Spectrom. 2007. V. 263. P. 54
  11. Sarkar S., Chakraborty P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2003. V. 212. P. 364
  12. Kudriavtsev Yu., Villegas A., Godines A., Asomoza R. // Appl. Surf. Sci. 2003. V. 206. P. 187
  13. Saha B., Chakraborty P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2007. V. 258. P. 218
  14. Wittmaak K. // Surf. Sci. 2012. V. 606. P. L18
  15. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.S., Chkhalo N.I., Gaponov S.V., Gusev S.A., Kluenkov E.B., Prokhorov K.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Zuev S.Yu. // Central European J. Physics. CEJP. 2003. V. 1. P. 191
  16. Андреев С.С., Барышева М.М., Чхало Н.И., Гусев С.А., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Рогачев Д.Н., Салащенко Н.Н., Вайнер Ю.А., Зуев С.Ю. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 8. С. 93
  17. Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Барышева М.М., Полковников В.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. N 10. С. 14
  18. Hofmann S. // Progr. Surf. Sci. 1991. V. 36. P. 35
  19. Vandervorst W. // Appl. Surf. Sci. 2008. V. 255. P. 805
  20. Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Drozdov M.N., Polushkin N.I., Salashchenko N.N. // Thin Solid Films. 1995. V. 263. P. 169
  21. Востоков Н.Н., Дроздов М.Н., Мастеров Д.В., Салащенко Н.Н., Прохоров К.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2001. N 1. С. 43
  22. Vaeck L.V., Adriaens A., Gijbels R. // Mass Spectrometry Reviews. 1999. V. 18. P. 1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.