"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Новая альтернатива вторичным ионам CsM+ для послойного анализа многослойных металличеcких структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии
Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Полковников В.Н.1, Стариков С.Д.1, Юнин П.А.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: drm@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 29 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.

Проведено сопоставление результатов послойного анализа многослойных металлических структур методом вторично-ионной масс-спектрометрии с использованием различных типов регистрируемых вторичных ионов. Впервые показано, что для повышения разрешения по глубине наряду с известными вторичными ионами CsM+ (M=La, Pd, Mo) могут быть использованы два новых варианта: M+ при распылении ионами цезия и OM- при распылении ионами кислорода. Для многослойных структур Mo/Si использование элементарных вторичных ионов Mo+ и Si+ при распылении ионами Cs и зондировании кластерными ионами Bi+3 обеспечивает наилучшее разрешение по глубине.
  • Gao Y. // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N 7. P. 3760
  • Marseilhan D., Barnes J.P., Fillot F., Hartmann J.M., Holliger P. // Appl. Surf. Sci. 2008. V. 255. P. 1412
  • Gu C.J., Stevie F.A., Hitzman C.J., Saripalli Y.N., Johnson M., Griffis D.P. // Appl. Surf. Sci. 2006. V. 252. P. 7228
  • Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Лобанов Д.Н., Новиков А.В., Юрасов Д.В. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2011. N 6. С. 93
  • Дроздов М.Н., Востоков Н.В., Данильцев В.М., Демидов Е.В., Дроздов Ю.Н., Хрыкин О.И., Шашкин В.И. // Известия РАН. Сер. Физ. 2012. Т. 76. N 2. С. 250
  • Maury H., Holliger P., Fares B., Gautier J., Roulliay M., Bridou F., Delmotte F., Ravet M.-F., Andre J.-M, Jonnard P. // Surf. Interface Anal. 2006. V. 38. P. 781
  • Jonnard P. // Proc. of SPIE. 2011. V. 7995. 79951T-1
  • Galtayries A., Hu M.-H., Guen K.Le, Andre J.-M., Jonnard P., Meltchakov E., Hecquet C., Delmotte F. // Surf. Interface Anal. 2010. V. 42. P. 653
  • Babor P., Duda R., Prusa S., Matlocha T., Kolibal M., Cechal J., Urbanek M., Sikola T. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2011. V. 269. P. 369
  • Cwil M., Konarski P., Ciosek J. // Int. J. Mass Spectrom. 2007. V. 263. P. 54
  • Sarkar S., Chakraborty P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2003. V. 212. P. 364
  • Kudriavtsev Yu., Villegas A., Godines A., Asomoza R. // Appl. Surf. Sci. 2003. V. 206. P. 187
  • Saha B., Chakraborty P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2007. V. 258. P. 218
  • Wittmaak K. // Surf. Sci. 2012. V. 606. P. L18
  • Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.S., Chkhalo N.I., Gaponov S.V., Gusev S.A., Kluenkov E.B., Prokhorov K.A., Salashchenko N.N., Schafers F., Zuev S.Yu. // Central European J. Physics. CEJP. 2003. V. 1. P. 191
  • Андреев С.С., Барышева М.М., Чхало Н.И., Гусев С.А., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Рогачев Д.Н., Салащенко Н.Н., Вайнер Ю.А., Зуев С.Ю. // ЖТФ. 2010. Т. 80. В. 8. С. 93
  • Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Барышева М.М., Полковников В.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. N 10. С. 14
  • Hofmann S. // Progr. Surf. Sci. 1991. V. 36. P. 35
  • Vandervorst W. // Appl. Surf. Sci. 2008. V. 255. P. 805
  • Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Drozdov M.N., Polushkin N.I., Salashchenko N.N. // Thin Solid Films. 1995. V. 263. P. 169
  • Востоков Н.Н., Дроздов М.Н., Мастеров Д.В., Салащенко Н.Н., Прохоров К.А. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2001. N 1. С. 43
  • Vaeck L.V., Adriaens A., Gijbels R. // Mass Spectrometry Reviews. 1999. V. 18. P. 1
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.