Представлены результаты исследования влияния давления газов в магнетронной распылительной системе (МРС) при синтезе пленок ZnO на эффективность возбуждения объемного гиперзвука. Эксперименты проведены при давлениях, близких к переходу тлеющего разряда в МРС в таунденсовский, где длина свободного пробега ионов и электронов возрастает и появляется дрейфовая компонента в потоке осаждаемых частиц. Показано, что в этих условиях возрастает эффективность возбуждения гиперзвука (частота >1 GHz), что авторы связывают с уменьшением текстуры зарождения и возрастанием плотности пленки. Выводы сделаны на основании сравнения со свойствами пленок, полученных в классическом диффузном тлеющем разряде.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.